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公开(公告)号：CN115287624A
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202211041809.X
申请日：2022-08-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C23C16/27 , C23C16/44 , C23C16/48 , C23C16/511
Abstract: 本发明涉及一种基于偏压和激光共同作用的制备碳基材料薄膜的技术，传统的微波等离子体化学气相沉积技术相比其他的沉积方法具有沉积薄膜质量高、设备无电极污染、可控性好以及沉积参数稳定等优点，但是其沉积速率较低，致使大批生产相对困难。本发明在微波等离子体化学气相沉积技术的基础上，加装偏置电压与激光辐照两种系统，两者共同作用或在时间上有一定的间隔或周期。这种将激光和偏压与微波等离子体化学气相沉积相结合得到一种新的技术，对将来大批量制备高质量高性能的碳基材料薄膜有十分重要的意义。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117551979A
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202311600878.4
申请日：2023-11-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C23C16/27 , C23C16/52 , C23C16/511 , C30B25/16 , C30B29/04
Abstract: 本发明涉及一种偏压耦合微波等离子体的金刚石生长调控装置，通过优化微波等离子体化学气相沉积，克服了传统技术沉积速率低的缺陷。该装置包括化学气相沉积系统、偏压调控系统和等离子体诊断系统。偏压调控系统通过调压装置、反馈电路和控制单元协同工作，实现对偏压强度的动态调节，确保金刚石生长过程中不同阶段的需求。调压装置能够适应不同生长工艺和要求，允许实时监测和调整偏压强度，确保在不同生长条件下维持最佳参数范围。此外，调压装置还包含实时监测和反馈系统，迅速响应反馈信号，实现偏压强度的即时调整，确保金刚石的生长在最佳状态下进行。这一创新性设计可提高金刚石的沉积速率和质量，为大规模生产高性能碳基材料奠定了基础。
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公开(公告)号：CN112984550B
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202110321441.1
申请日：2021-03-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种燃烧不稳定性电磁诊断与调控系统及方法，所述诊断与调控系统包括：供气系统，脉动燃烧系统，高压电源系统和测量系统。燃气和空气由供气系统调节供给，在脉动燃烧器预混室中均匀混合，在燃烧室进口处由电火花点火器引燃，形成一种不稳定燃烧现象—脉动燃烧。燃烧室进出端口置有铜板环形电极并与高压电源系统连接，通过调节高压电源对脉动火焰施加不同电场作用。利用压力传感器，热电偶及高速相机实时检测脉动火焰状态，并与微安电流表获得的电流信号对比分析，实现脉动燃烧的电磁诊断。同时，外加电场的施加也可以有效调控脉动燃烧的频率和振幅。本发明创新性地提出了一种灵敏度高，响应快的新型燃烧不稳定性电磁诊断与调控方法。
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公开(公告)号：CN112984550A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202110321441.1
申请日：2021-03-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种燃烧不稳定性电磁诊断与调控系统及方法，所述诊断与调控系统包括：供气系统，脉动燃烧系统，高压电源系统和测量系统。燃气和空气由供气系统调节供给，在脉动燃烧器预混室中均匀混合，在燃烧室进口处由电火花点火器引燃，形成一种不稳定燃烧现象—脉动燃烧。燃烧室进出端口置有铜板环形电极并与高压电源系统连接，通过调节高压电源对脉动火焰施加不同电场作用。利用压力传感器，热电偶及高速相机实时检测脉动火焰状态，并与微安电流表获得的电流信号对比分析，实现脉动燃烧的电磁诊断。同时，外加电场的施加也可以有效调控脉动燃烧的频率和振幅。本发明创新性地提出了一种灵敏度高，响应快的新型燃烧不稳定性电磁诊断与调控方法。
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公开(公告)号：CN112254127A
公开(公告)日：2021-01-22
申请号：CN202011197991.9
申请日：2020-10-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种外加电场对平板狭缝中火焰稳燃效果测试系统及方法，所述测试系统包括：供气系统，燃烧系统，电源系统和拍摄系统。燃气和空气从高压气瓶排出，经流量计调节后，在预混室中均匀混合，混合气送入出口位于平板狭缝正中间的陶瓷管燃烧器中点燃，形成微小火焰。平板狭缝间距的精确调节通过螺旋测微仪，大等腰直角三角滑块，两小方形滑块，L型平板以及其连接的两石英平板的同步联动来实现。同时，通过调节高压电源对平板狭缝中的火焰施加不同电场，并利用高速相机记录火焰燃烧状态的变化，从而得到外加电场对平板狭缝中火焰的稳燃效果。本发明可以测试外加电场对平板狭缝中火焰稳定性的影响效果，提出一种新型的微小空间火焰稳燃方法。
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公开(公告)号：CN112254127B
公开(公告)日：2022-12-13
申请号：CN202011197991.9
申请日：2020-10-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种外加电场对平板狭缝中火焰稳燃效果测试系统及方法，所述测试系统包括：供气系统，燃烧系统，电源系统和拍摄系统。燃气和空气从高压气瓶排出，经流量计调节后，在预混室中均匀混合，混合气送入出口位于平板狭缝正中间的陶瓷管燃烧器中点燃，形成微小火焰。平板狭缝间距的精确调节通过螺旋测微仪，大等腰直角三角滑块，两小方形滑块，L型平板以及其连接的两石英平板的同步联动来实现。同时，通过调节高压电源对平板狭缝中的火焰施加不同电场，并利用高速相机记录火焰燃烧状态的变化，从而得到外加电场对平板狭缝中火焰的稳燃效果。本发明可以测试外加电场对平板狭缝中火焰稳定性的影响效果，提出一种新型的微小空间火焰稳燃方法。
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