公开(公告)号：CN118501197A

公开(公告)日：2024-08-16

申请号：CN202410573565.2

申请日：2024-05-10

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 杨磊 ,  高岗 ,  徐梁格 ,  段超 ,  渠怀志 ,  朱嘉琦

IPC: G01N23/2204 ,  G01N23/2273

Abstract: 本发明公开了一种用于X射线光电子能谱原位测试的样品托及其应用，涉及光电子能谱原位测试领域，包括台架，还包括放置台，其用于放置测试样品，所述放置台的底部与台架固定连接，所述放置台顶部开设有弧形凹槽，环形台，所述环形台内壁与放置台转动连接，固定机构，所述固定机构安装于环形台上；该用于X射线光电子能谱原位测试的样品托，通过B驱动组件驱动A支架转动的同时，C驱动组件驱动B支架转动，从而使B支架带动按压件转动下压测试样品，多个按压件环绕测试样品对测试样品进行按压，使得测试样品与弧形凹槽的接触充分，保证测试样品与样品托有良好的接触与稳定性，从而保证测试的准确性和可靠性。

公开(公告)号：CN221645070U

公开(公告)日：2024-09-03

申请号：CN202420115601.6

申请日：2024-01-17

Applicant: 哈尔滨工业大学 ,  哈工大郑州研究院

Inventor： 渠怀志 ,  徐梁格 ,  滕祥青 ,  马小军 ,  张善勇 ,  朱嘉琦

IPC: C23C26/00

Abstract: 一种应用于曲面膜层厚度和均匀性检测的衬底快速拆装装置，涉及一种应用于曲面膜层厚度和均匀性检测的拆装装置。本实用新型在铝合金曲面罩的外壁上各个方向均匀设置了多个正方形衬底卡槽，解决了目前测量点位不均匀的技术问题；镀膜圆孔设计成被掩膜条均分成两个半圆形的镀膜孔，掩膜条代替常规胶带做掩膜，可以避免撕扯胶带对膜层的破坏；装置内壁进行了倒角设计，最大程度的降低镀膜过程中台阶的掩膜边缘效应；本实用新型用铝合金曲面罩代替整流罩，能够更好的节约成本，且精细的结构设计能够镀膜后快速进行后续测量；衬底拆卸孔的设计能够快速拆卸衬底，节约操作时间，且不伤膜层；正方形衬底卡槽适用于多种设备的曲面工况，普适性强。