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公开(公告)号：CN103018288A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210551816.4
申请日：2012-12-18
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 一种可控加热除霜电容式高空湿度传感器及其制备方法，涉及高空湿度传感器及其制备方法的领域。本发明是要解决现有的湿度传感器由于高空环境下温度过低，使得传感器表面出现结霜现象，严重影响湿度数据采集的问题。一种可控加热除霜电容式高空湿度传感器，其特征在于：它是由基底、第一绝缘层、第一温度传感器焊盘、第二温度传感器焊盘、第一加热器焊盘、第二加热器焊盘、温度传感器电极、加热器电极、第二绝缘层、下电极、感湿层、多孔上电极和凹槽组成。制备方法：采用光刻剥离、磁控射频溅射、腐蚀镂空、匀胶处理和蒸发镀膜的方法制备可控加热除霜电容式高空湿度传感器。本发明适用于气候和气象领域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102998479A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201210593373.5
申请日：2012-12-31
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 氮化铝基集成阵列结构的二维风速风向传感器及其制造方法，涉及一种测量风速风向传感器及其制造方法。本发明解决了集成热温差原理的风速传感器采用硅基衬底工艺复杂、开发成本较高、传感器响应速率慢、机械性能差等缺点。本发明所述风速风向传感器由八边形氮化铝陶瓷基片、四个温度探测器、四个矩形热隔离槽、四对等腰直角三角形热隔离通孔、两个温度传感器、四个矩形热隔离通孔和一个中间蛇盘形加热器组成，制作该风速风向传感器的方法为先将氮化铝陶瓷基片用丙酮溶液和酒精溶液进行清洗，烘干后在进行涂胶，光刻，再进行镀膜，放入丙酮溶液中溶解光刻胶，激光刻蚀，再放入稀盐酸溶液中清洗，最后进行退火处理，获得传感器。本发明用于测量风速风向。
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公开(公告)号：CN103663361B
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201310743385.6
申请日：2013-12-30
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 一种硅基片或陶瓷基片的柔性机械光刻剥离工艺方法，涉及一种在微机械加工中柔性机械光刻剥离工艺制造方法，解决了现有采用反转胶光刻剥离工艺法在硅基片或陶瓷衬底基片进行铂膜光刻剥离，存在污染大、工艺程序复杂，机械性能较差的缺点。本发明采用氮化铝陶瓷基片或硅基片为衬底在超声波的作用下分别在丙酮溶液中和酒精溶液中进行清洗然后均匀涂胶，以制备器件图案的反图形掩模版为制版图形再进行曝光、显影、镀膜，然后在微超声清洗光刻胶，直至光刻胶完全溶解，采用柔性的双向拉伸聚丙烯压敏胶粘带附着在溶解光刻胶后的基片上，施加外力，最后退火处理，实现对陶瓷基片或硅基片的柔性机械光刻剥离。本发明适用于硅基片或陶瓷基片的光刻剥离。
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公开(公告)号：CN103663361A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310743385.6
申请日：2013-12-30
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 一种硅基片或陶瓷基片的柔性机械光刻剥离工艺方法，涉及一种在微机械加工中柔性机械光刻剥离工艺制造方法，解决了现有采用反转胶光刻剥离工艺法在硅基片或陶瓷衬底基片进行铂膜光刻剥离，存在污染大、工艺程序复杂，机械性能较差的缺点。本发明采用氮化铝陶瓷基片或硅基片为衬底在超声波的作用下分别在丙酮溶液中和酒精溶液中进行清洗然后均匀涂胶，以制备器件图案的反图形掩模版为制版图形再进行曝光、显影、镀膜，然后在微超声清洗光刻胶，直至光刻胶完全溶解，采用柔性的双向拉伸聚丙烯压敏胶粘带附着在溶解光刻胶后的基片上，施加外力，最后退火处理，实现对陶瓷基片或硅基片的柔性机械光刻剥离。本发明适用于硅基片或陶瓷基片的光刻剥离。
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公开(公告)号：CN102998479B
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201210593373.5
申请日：2012-12-31
Applicant: 哈尔滨理工大学
Abstract: 氮化铝基集成阵列结构的二维风速风向传感器及其制造方法，涉及一种测量风速风向传感器及其制造方法。本发明解决了集成热温差原理的风速传感器采用硅基衬底工艺复杂、开发成本较高、传感器响应速率慢、机械性能差等缺点。本发明所述风速风向传感器由八边形氮化铝陶瓷基片、四个温度探测器、四个矩形热隔离槽、四对等腰直角三角形热隔离通孔、两个温度传感器、四个矩形热隔离通孔和一个中间蛇盘形加热器组成，制作该风速风向传感器的方法为先将氮化铝陶瓷基片用丙酮溶液和酒精溶液进行清洗，烘干后在进行涂胶，光刻，再进行镀膜，放入丙酮溶液中溶解光刻胶，激光刻蚀，再放入稀盐酸溶液中清洗，最后进行退火处理，获得传感器。本发明用于测量风速风向。
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公开(公告)号：CN103018288B
公开(公告)日：2014-11-12
申请号：CN201210551816.4
申请日：2012-12-18
Abstract: 一种可控加热除霜电容式高空湿度传感器的制备方法，涉及高空湿度传感器及其制备方法的领域。本发明是要解决现有的湿度传感器由于高空环境下温度过低，使得传感器表面出现结霜现象，严重影响湿度数据采集的问题。一种可控加热除霜电容式高空湿度传感器，其特征在于：它是由基底、第一绝缘层、第一温度传感器焊盘、第二温度传感器焊盘、第一加热器焊盘、第二加热器焊盘、温度传感器电极、加热器电极、第二绝缘层、下电极、感湿层、多孔上电极和凹槽组成。制备方法：采用光刻剥离、磁控射频溅射、腐蚀镂空、匀胶处理和蒸发镀膜的方法制备可控加热除霜电容式高空湿度传感器。本发明适用于气候和气象领域。
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