一种低浓度氢探测MIS型薄膜传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN119666931A

    公开(公告)日:2025-03-21

    申请号:CN202411800777.6

    申请日:2024-12-09

    Abstract: 本发明公开了一种低浓度氢探测MIS型薄膜传感器及其制备方法,本发明属于油浸式变压器在线故障监测技术领域。该传感器由下至上依次包括:金属镍片衬底、氧化镍半导体层、绝缘层、打底层、电极层;电极层包括催化电极层和金连接电极层;绝缘层为氧化硅、氧化铝、氮化硅、氮化铝中的任意一种;打底层为铬、钛、镍铬及钛钨中的任意一种;催化电极层为铂、钯中的一种或其复合物。有益效果:本发明针对变压器绝缘油中的氢气浓度进行在线监测的需求,充分考虑变压器绝缘油环境温度变化大、氢浓度低的问题,提供了低浓度氢探测MIS型薄膜传感器,具有高灵敏度、低探测下限,降低了传感器加工、封装难度,具有较好的应用前景。

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