公开(公告)号：CN102946982B

公开(公告)日：2016-05-11

申请号：CN201080067363.7

申请日：2010-11-25

Applicant: 夏普株式会社 ,  岩谷产业株式会社

Inventor： 小池国彦 ,  中村贞纪 ,  牧平尚久 ,  泉浩一 ,  井上吾一 ,  方志教和 ,  南朴木孝至

IPC: B01F1/00 ,  B01F15/06 ,  C01B13/11 ,  H01L21/304

CPC classification number: C11D7/04 ,  C01B13/11 ,  C11D3/3947

Abstract: 一种生成高浓度的臭氧水的装置，在该装置中，高压浓缩臭氧气体供给系统与臭氧气体溶解部（4）相连通连接，高压浓缩臭氧气体供给系统具有：臭氧气体产生部（1），其用于生成臭氧气体；臭氧气体浓缩部（2），其用于浓缩所生成的臭氧气体；浓缩臭氧气体加压部（3），其用于使从臭氧气体浓缩部（2）导出的浓缩臭氧气体的压力升高；冷却机构（13），其用于冷却浓缩臭氧气体加压部（3）；通过使高压浓缩臭氧气体溶解于纯水来形成高浓度臭氧水。

公开(公告)号：CN102946982A

公开(公告)日：2013-02-27

申请号：CN201080067363.7

申请日：2010-11-25

Applicant: 夏普株式会社 ,  岩谷产业株式会社

Inventor： 小池国彦 ,  中村贞纪 ,  牧平尚久 ,  泉浩一 ,  井上吾一 ,  方志教和 ,  南朴木孝至

IPC: B01F1/00 ,  B01F15/06 ,  C01B13/11 ,  H01L21/304

CPC classification number: C11D7/04 ,  C01B13/11 ,  C11D3/3947

Abstract: 一种生成高浓度的臭氧水的装置，在该装置中，高压浓缩臭氧气体供给系统与臭氧气体溶解部（4）相连通连接，高压浓缩臭氧气体供给系统具有：臭氧气体产生部（1），其用于生成臭氧气体；臭氧气体浓缩部（2），其用于浓缩所生成的臭氧气体；浓缩臭氧气体加压部（3），其用于使从臭氧气体浓缩部（2）导出的浓缩臭氧气体的压力升高；冷却机构（13），其用于冷却浓缩臭氧气体加压部（3）；通过使高压浓缩臭氧气体溶解于纯水来形成高浓度臭氧水。

公开(公告)号：CN103003919A

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN201180035620.3

申请日：2011-09-13

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 南朴木孝至 ,  方志教和

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/304

CPC classification number: B08B7/00 ,  G03F7/423 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/67057

Abstract: 本发明涉及即便使用通常的清洗装置也能够达到充分的除去速度的光致抗蚀剂除去方法。使用臭氧的过饱和水溶液除去形成在基体表面的光致抗蚀剂。进一步优选在抑制过饱和水溶液的臭氧浓度降低的状态下进行除去操作。

公开(公告)号：CN102985026A

公开(公告)日：2013-03-20

申请号：CN201180034700.7

申请日：2011-09-01

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 山本弘明 ,  方志教和 ,  田村孔一 ,  南朴木孝至

IPC: A61B19/00 ,  A61L2/20 ,  B08B3/02 ,  B08B3/04 ,  B08B3/08 ,  B08B7/00

CPC classification number: B08B7/00 ,  A61B90/70 ,  A61L2/202 ,  A61L2202/24 ,  B08B3/08 ,  B08B2203/005

Abstract: 为了高效地清洗至医疗器具的细部，在实施了液体清洗工序（31）后实施臭氧气体清洗工序（34）。