膜厚测定装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104412061A

    公开(公告)日:2015-03-11

    申请号:CN201380035851.3

    申请日:2013-08-23

    CPC classification number: G01B15/02 G01N23/223 G01N2223/633

    Abstract: 基板Al检测单元(33a)从测定头(23)对成膜前的基板(11)照射原始X射线,利用测定头(23)检测由该基板(11)产生的荧光X射线,检测该基板(11)所含的铝成分。Al膜校正单元(33b)在基板(11)上形成了Al膜时,基于基板Al检测单元(33a)的检测结果校正利用测定头(23)从Al膜检测出的荧光X射线的强度,求出Al膜的厚度。

    基板清洗装置
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101622696A

    公开(公告)日:2010-01-06

    申请号:CN200880006846.9

    申请日:2008-02-27

    CPC classification number: B08B3/04 B08B3/048 G02F1/1303 G02F2001/133302

    Abstract: 一种基板清洗装置,通过药液供给部(27)使从药液筒(29)供给的药液与纯水混合生成处理液,通过供给管使处理液供给至处理槽。无需从补充管线等向药液筒(29)补充药液,而使药液不会被污染,因而能够维持药液的高清洁度。因此,能够高清洁度地清洗基板。另外,因为药液筒(29)具有余量显示部(39),所以能够容易得知药液筒(29)内的药液余量和药液筒(29)的定期更换时间。另外,因为药液筒(29)构成为能够通过喷嘴部(47)调整流量,所以能够直接将药液筒(29)安装在供给管上而简化结构。因此,能够降低装置成本。

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