公开(公告)号：CN102308172A

公开(公告)日：2012-01-04

申请号：CN200980156136.9

申请日：2009-12-08

Applicant: 夏普株式会社 ,  株式会社幸和

Inventor： 宫浦博彰 ,  盐崎唯史 ,  天本圭悟 ,  山口臣治

IPC: F26B5/00 ,  B05C9/14 ,  F26B9/06 ,  F26B21/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: F26B21/004

Abstract: 一种油墨干燥装置，具有：干燥炉(12)，其中设置涂敷有聚酰亚胺的基板(21)；送风机(41)，其与基板(21)相对配置，向干燥炉(12)内输送空气；以及冲孔板(51)，其设置于干燥炉(12)内，配置于基板(21)和送风机(41)之间，形成有空气可流通的多个孔(52)。根据这样的构成，提供实现均匀的油墨干燥的油墨干燥装置。

公开(公告)号：CN102821869B

公开(公告)日：2015-06-24

申请号：CN201180015412.7

申请日：2011-03-23

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 宫浦博彰 ,  盐崎唯史 ,  新畑宏晃

IPC: B05C5/00 ,  B05C9/06 ,  B05D1/26 ,  G02F1/1337

Abstract: 在喷墨方式成膜装置(100)中，具备：头部(50)，其具有横穿基板(20)的长度并包括对基板(20)排出溶液的喷嘴(72)；载置台(10)，其保持基板(20)；移动装置(30)，其使头部(50)和载置台(10)相对地移动；以及控制装置(35)，其控制移动装置(30)的移动，控制装置(35)执行以下步骤：第1步骤(a)，将头部(50)配置在基板(20)的中央区域(21)的上方；第2步骤(b)，使头部(50)按照第1方向移动到基板(20)的第1端部(25a)；第3步骤(c)，使头部(50)按照第2方向移动到第2端部(25b)；以及第4步骤(d)，使头部(50)按照第1方向移动到基板(20)的中央区域(21)。根据该构成，能缓和在喷墨方式的涂敷中未涂敷区域的发生。

公开(公告)号：CN102821869A

公开(公告)日：2012-12-12

申请号：CN201180015412.7

申请日：2011-03-23

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 宫浦博彰 ,  盐崎唯史 ,  新畑宏晃

IPC: B05C5/00 ,  B05C9/06 ,  B05D1/26 ,  G02F1/1337

Abstract: 在喷墨方式成膜装置(100)中，具备：头部(50)，其具有横穿基板(20)的长度并包括对基板(20)排出溶液的喷嘴(72)；载置台(10)，其保持基板(20)；移动装置(30)，其使头部(50)和载置台(10)相对地移动；以及控制装置(35)，其控制移动装置(30)的移动，控制装置(35)执行以下步骤：第1步骤(a)，将头部(50)配置在基板(20)的中央区域(21)的上方；第2步骤(b)，使头部(50)按照第1方向移动到基板(20)的第1端部(25a)；第3步骤(c)，使头部(50)按照第2方向移动到第2端部(25b)；以及第4步骤(d)，使头部(50)按照第1方向移动到基板(20)的中央区域(21)。根据该构成，能缓和在喷墨方式的涂敷中未涂敷区域的发生。