成膜装置和成膜方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102821869A

    公开(公告)日:2012-12-12

    申请号:CN201180015412.7

    申请日:2011-03-23

    Abstract: 在喷墨方式成膜装置(100)中,具备:头部(50),其具有横穿基板(20)的长度并包括对基板(20)排出溶液的喷嘴(72);载置台(10),其保持基板(20);移动装置(30),其使头部(50)和载置台(10)相对地移动;以及控制装置(35),其控制移动装置(30)的移动,控制装置(35)执行以下步骤:第1步骤(a),将头部(50)配置在基板(20)的中央区域(21)的上方;第2步骤(b),使头部(50)按照第1方向移动到基板(20)的第1端部(25a);第3步骤(c),使头部(50)按照第2方向移动到第2端部(25b);以及第4步骤(d),使头部(50)按照第1方向移动到基板(20)的中央区域(21)。根据该构成,能缓和在喷墨方式的涂敷中未涂敷区域的发生。

    成膜装置和成膜方法
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102821869B

    公开(公告)日:2015-06-24

    申请号:CN201180015412.7

    申请日:2011-03-23

    Abstract: 在喷墨方式成膜装置(100)中,具备:头部(50),其具有横穿基板(20)的长度并包括对基板(20)排出溶液的喷嘴(72);载置台(10),其保持基板(20);移动装置(30),其使头部(50)和载置台(10)相对地移动;以及控制装置(35),其控制移动装置(30)的移动,控制装置(35)执行以下步骤:第1步骤(a),将头部(50)配置在基板(20)的中央区域(21)的上方;第2步骤(b),使头部(50)按照第1方向移动到基板(20)的第1端部(25a);第3步骤(c),使头部(50)按照第2方向移动到第2端部(25b);以及第4步骤(d),使头部(50)按照第1方向移动到基板(20)的中央区域(21)。根据该构成,能缓和在喷墨方式的涂敷中未涂敷区域的发生。

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