公开(公告)号：CN107208250A

公开(公告)日：2017-09-26

申请号：CN201580072291.8

申请日：2015-12-28

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 二星学 ,  川户伸一 ,  小林勇毅 ,  滝泽和雄

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/24 ,  H01L51/50 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14

CPC classification number: C23C14/042 ,  C23C16/042 ,  H01L51/0011 ,  H01L51/56

Abstract: 具有掩膜部(3)与掩膜框(4)，且掩膜部(3)具备含有铁及镍的合金的蒸镀掩膜(2)的制造方法，所述制造方法包含对掩膜部(3)施加张力以将掩膜部(3)的端部固定于掩膜框(4)的状态下，对掩膜部(3)进行热处理的热处理工序。