等离子体处理方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1363719A

    公开(公告)日:2002-08-14

    申请号:CN01143879.7

    申请日:2001-12-14

    CPC classification number: C23F4/00 H01L21/32136

    Abstract: 按照一种等离子体处理方法,送入处理腔体(1)内的处理气体产生等离子体并且借助等离子体对处理腔体(1)内放置的衬底(8)进行处理。衬底(8)包括至少两种类型被等离子体刻蚀的堆叠薄膜(21,22),并且根据被刻蚀的薄膜类型,改变等离子体产生期间内的处理气体。因此可以缩短除主等离子体处理以外的任何过程所需时间从而可以缩短整个等离子体处理的总计时间以改善处理速度。

    溶液生成装置以及溶液生成方法

    公开(公告)号:CN109965701A

    公开(公告)日:2019-07-05

    申请号:CN201811116905.X

    申请日:2018-09-21

    Abstract: 课题:用加热的水来溶解奶粉而生成饮用的奶时,防止该奶粉的溶解残留。解决方法:根据本发明所涉及的冲调装置(10),在处于奶粉PM已被供应的状态的冲调用瓶(16)内,从储存槽(14)内经由供应配管(18)供应水L。在该水L移送供应配管(18)内的中途,通过加热器(20)加热。并且,在冲调用瓶(16)内,通过旋转搅拌件(32),生成饮用的奶。在此,冲调装置(10)具备具有事先搅拌的模式。根据该具有事先搅拌的模式,向冲调用瓶(16)内供应水L之前,通过搅拌件(32)搅拌该冲调用瓶(16)内之类的事先搅拌处理。由此,在冲调用瓶(16)内,形成奶粉PM容易溶解于水L的状态。

    溶液生成装置以及溶液生成方法

    公开(公告)号:CN109965696A

    公开(公告)日:2019-07-05

    申请号:CN201811110810.7

    申请日:2018-09-21

    Abstract: 课题:根据奶粉的条件有效地生成没有奶粉的溶解残留且成品温度为固定的奶。解决方案:根据本发明所涉及的冲调装置(10),在处于被供应奶粉PM的状态的冲调用瓶(16)内,供应加热后的水L。并且,进行搅拌部(22)的冲调用瓶(16)内的搅拌、和冷却部(24)的向该冲调用瓶(16)内的气流的供应,从而生成适当温度的奶M。在此,冲调装置(10)具有包含第一模式以及第二模式的多个控制模式。尤其是,第二模式为与第一模式相比搅拌部(22)的搅拌效果大,且与所述第一模式相比冷却效果小的模式。此外,第一模式以及第二模式为,结束奶M的生成后紧跟着的该奶M的温度大致相同的模式。

    等离子体处理方法
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1267576C

    公开(公告)日:2006-08-02

    申请号:CN01143879.7

    申请日:2001-12-14

    CPC classification number: C23F4/00 H01L21/32136

    Abstract: 按照一种等离子体处理方法,送入处理腔体(1)内的处理气体产生等离子体并且借助等离子体对处理腔体(1)内放置的衬底(8)进行处理。衬底(8)包括至少两种类型被等离子体刻蚀的堆叠薄膜(21,22),并且根据被刻蚀的薄膜类型,改变等离子体产生期间内的处理气体。因此可以缩短除主等离子体处理以外的任何过程所需时间从而可以缩短整个等离子体处理的总计时间以改善处理速度。

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