除电装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104067697A

    公开(公告)日:2014-09-24

    申请号:CN201280067786.8

    申请日:2012-12-28

    CPC classification number: H01T23/00

    Abstract: 提供离子平衡分布均匀、且具有高除电性能的除电装置。其具备:离子发生单元,其具有:通过被施加电压而产生正离子的第1电极;和通过被施加电压而产生负离子的第2电极;电压施加单元,其对上述第1电极和上述第2电极施加电压,具有至少2个以上上述离子发生单元,上述电压施加单元对各离子发生单元以预先决定的周期间歇地施加电压。

    加热控制系统及具备该加热控制系统的成膜装置、以及温度控制方法

    公开(公告)号:CN102668034A

    公开(公告)日:2012-09-12

    申请号:CN201180005095.0

    申请日:2011-03-29

    CPC classification number: H01L21/67248 C23C16/46 C23C16/52

    Abstract: 利用多个加热器对被加热物进行加热期间,为了实现不依赖于多个加热器电源特性偏差的加热控制系统,本发明的加热控制系统包括:检测出被加热物温度的热电偶(6M)、温度控制单元(3M)和温度控制单元(3S1)、检测出功率值(Wm)的电流/电压检测单元(5M)和检测出当前功率(PVs1)的电流/电压检测单元(5S1)、以及计算出目标功率(SPs1)的目标功率计算单元(1S1)。温度控制单元(3M)输入目标温度(SPm)和当前温度(PVm),并进行功率控制以使当前温度(PVm)与目标温度(SPm)相一致,目标功率计算单元(1S1)输入功率值(Wm),将功率值(Wm)和规定比率相乘以计算出目标功率(SPs1),温度控制单元(3S1)输入目标功率(SPs1)和当前功率(PVs1),并进行功率控制以使当前功率(PVs1)与目标功率(SPs1)相一致。

    除电装置
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104067697B

    公开(公告)日:2016-08-31

    申请号:CN201280067786.8

    申请日:2012-12-28

    CPC classification number: H01T23/00

    Abstract: 提供离子平衡分布均匀、且具有高除电性能的除电装置。其具备:离子发生单元,其具有:通过被施加电压而产生正离子的第1电极;和通过被施加电压而产生负离子的第2电极;电压施加单元,其对上述第1电极和上述第2电极施加电压,具有至少2个以上上述离子发生单元,上述电压施加单元对各离子发生单元以预先决定的周期间歇地施加电压。

Patent Agency Ranking