有源矩阵基板及其制造方法、以及平面显示装置

    公开(公告)号:CN101681926A

    公开(公告)日:2010-03-24

    申请号:CN200880006200.0

    申请日:2008-02-15

    Inventor: 加藤丈佳

    CPC classification number: H01L29/78606 H01L27/1248

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种可以通过简单的操作进行制造、且具有优异的晶体管特性及高度可靠性的有源矩阵基板及其制造方法。为此,本发明涉及一种有源矩阵基板,该基板具有基体材料和在该基体材料上形成的具有无定形硅膜的薄膜晶体管,其中,在所述无定形硅膜上具有硅氧化物层,并且,在硅氧化物层上层压有有机保护膜。另外,本发明涉及一种制造上述有源矩阵基板的方法,其中,该制造方法具有下述步骤:(1)对形成于基体材料上的薄膜晶体管的无定形硅膜A的表面进行氧化,从而在无定形硅膜α上形成硅氧化物层的步骤;以及(2)在硅氧化物层上由辐射敏感性树脂组合物形成有机保护膜的步骤。

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