一种高能量电子枪
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103824741A

    公开(公告)日:2014-05-28

    申请号:CN201410096570.5

    申请日:2014-03-14

    Abstract: 本发明公开了一种高能量电子枪,包括电子发射机构、聚焦机构、偏转机构、差分抽真空维持机构和电极调节机构。由于本发明采用了差分抽真空维持机构,同时配合阳极结构的特点,可以保持控制极所在空间具有较高的真空度。由于阳极小孔和电子束出口的小孔尺寸很小,所以真空腔室和控制极圆管的内部空间两个腔体之间的气体导通率很小,使得差分抽真空可行,从而提高了阴极灯丝的使用寿命,进而延长了整个高能量电子枪的使用寿命。本发明通过改变聚焦机构中空芯线圈电流的大小,进而改变其内部的磁场强度来实现电子束的聚焦,从而调整电子束束斑的大小。本发明通过改变偏转机构中环形线圈电流的大小,从而调整电子束束斑的位置。

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