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公开(公告)号：CN103929870B
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201410195467.6
申请日：2014-05-09
Applicant: 大连交通大学
Abstract: 行。本发明公开了一种X射线源，包括X射线产生和发射组件、水冷温控组件和工作电路；所述的X射线产生和发射组件包括铜棒、陶瓷管、主管、靶头、阳极靶A和阳极靶B；所述的阳极靶A和阳极靶B分别位于靶头的两个楔形面上，所述的阳极靶A和阳极靶B上分别蒸镀有Mg层和Al层。所述的水冷温控组件包括水冷外筒、水冷内筒和安装法兰，安装法兰内部循环冷却水对主管进行冷却；冷却水由水冷内筒流入，从水冷外筒流出，通过双层水冷方式对靶头进行冷却。本发明的阳极靶是将靶材蒸镀到靶头上，以确保阳极靶直接和冷却水接触。阳极靶的温度和冷却水的流量可以实
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公开(公告)号：CN103928278A
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201410195904.4
申请日：2014-05-09
Applicant: 大连交通大学
IPC: H01J37/063 , H01J37/18 , H01J37/147 , H01J37/06
Abstract: 本发明公开了一种高能量电子枪，包括电子发射机构、聚焦机构、偏转机构、差分抽真空维持机构和电极调节机构。由于本发明采用了差分抽真空维持机构，同时配合阳极结构的特点，可以保持控制极所在空间具有较高的真空度。由于阳极小孔和电子束出口的小孔尺寸很小，所以真空腔室和控制极圆管的内部空间两个腔体之间的气体导通率很小，使得差分抽真空可行，从而提高了阴极灯丝的使用寿命，进而延长了整个高能量电子枪的使用寿命。本发明通过改变聚焦机构中空芯线圈电流的大小，进而改变其内部的磁场强度来实现电子束的聚焦，从而调整电子束束斑的大小。本发明通过改变偏转机构中环形线圈电流的大小，从而调整电子束束斑的位置。
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公开(公告)号：CN104797072B
公开(公告)日：2018-06-19
申请号：CN201510182364.0
申请日：2015-04-16
Applicant: 大连交通大学
IPC: H05H1/46
Abstract: 本发明公开了一种电感耦合式射频等离子体源，包括反应气体导入机构、等离子体发生机构、水冷机构、屏蔽机构和支撑连接机构，所述反应气体导入机构、等离子体发生机构、水冷机构和屏蔽机构通过支撑连接机构连接。该装置中的电感线圈在射频电流的驱动下，激发变化的磁场感生回旋电场。电子在有旋电场的加速下作回旋运动，与反应源气体分子碰撞将其电离。由于电子的回旋运动增加了与气体分子的碰撞，射频等离子体源可产生密度较高的等离子体，而且设备结构简单，能独立控制离子能量和等离子体密度。
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公开(公告)号：CN104483512B
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201410836854.3
申请日：2014-12-29
Applicant: 大连交通大学
IPC: G01Q60/16
Abstract: 本发明公开了一种扫描隧道显微镜针尖腐蚀仪，包括机械组件、工作电路和控制电源。控制电源包括控制电路和操控面板。控制电路包括调压稳压模块、电压测量模块、电流测量模块、阈值设定模块、采样比较模块和电压输出模块，调压稳压模块所用采样电阻R2位于高电位处，采样比较模块采用LM319型比较器。由于本发明所设计控制电路将以往针尖腐蚀仪控制电路中的采样电阻从整个负载电压采集系统中移走，改在高电位处，通过这样的方式可以精确测量实时电流，同时保证负载电阻两端的恒压输出，而电流随着负载电阻的增大而逐渐减小，这样单参量的变化是容易控制和分析的，增强了腐蚀过程的稳定性，从而提高了针尖制作的成功率。
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公开(公告)号：CN104483512A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201410836854.3
申请日：2014-12-29
Applicant: 大连交通大学
IPC: G01Q60/16
Abstract: 本发明公开了一种扫描隧道显微镜针尖腐蚀仪，包括机械组件、工作电路和控制电源。控制电源包括控制电路和操控面板。控制电路包括调压稳压模块、电压测量模块、电流测量模块、阈值设定模块、采样比较模块和电压输出模块，调压稳压模块所用采样电阻R2位于高电位处，采样比较模块采用LM319型比较器。由于本发明所设计控制电路将以往针尖腐蚀仪控制电路中的采样电阻从整个负载电压采集系统中移走，改在高电位处，通过这样的方式可以精确测量实时电流，同时保证负载电阻两端的恒压输出，而电流随着负载电阻的增大而逐渐减小，这样单参量的变化是容易控制和分析的，增强了腐蚀过程的稳定性，从而提高了针尖制作的成功率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104319217A
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201410558790.5
申请日：2014-10-20
Applicant: 大连交通大学
Abstract: 本发明公开了一种低能量电子枪，其包括：发射电子的电子发射装置；加速引导上述电子，用于控制电子的数量和速度的栅极装置；对上述电子形成的电子束进行形状约束的聚焦装置；将上述装置容纳于其腔体内的电子枪壳；以及将上述电子发射装置、栅极装置以及聚焦装置固定于上述电子枪壳腔体内，起固定支撑作用的支撑装置；所述聚焦装置由三个相互配合的环形电极构成；其中一个环形电极为正电位电极，其前端通过绝缘球与其余两个环形电极绝缘隔开，其后端同样通过绝缘球与栅极装置绝缘隔开；其余两个环形电极相互配合构成一电极结构，且该电极结构处于零电位。本发明提供的电子枪具有低能量、电子数量和能量等级可调、结构紧凑和使用方便等优点。
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公开(公告)号：CN104319217B
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201410558790.5
申请日：2014-10-20
Applicant: 大连交通大学
Abstract: 本发明公开了一种低能量电子枪，其包括：发射电子的电子发射装置；加速引导上述电子，用于控制电子的数量和速度的栅极装置；对上述电子形成的电子束进行形状约束的聚焦装置；将上述装置容纳于其腔体内的电子枪壳；以及将上述电子发射装置、栅极装置以及聚焦装置固定于上述电子枪壳腔体内，起固定支撑作用的支撑装置；所述聚焦装置由三个相互配合的环形电极构成；其中一个环形电极为正电位电极，其前端通过绝缘球与其余两个环形电极绝缘隔开，其后端同样通过绝缘球与栅极装置绝缘隔开；其余两个环形电极相互配合构成一电极结构，且该电极结构处于零电位。本发明提供的电子枪具有低能量、电子数量和能量等级可调、结构紧凑和使用方便等优点。
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公开(公告)号：CN103824741A
公开(公告)日：2014-05-28
申请号：CN201410096570.5
申请日：2014-03-14
Applicant: 大连交通大学
IPC: H01J37/06 , H01J37/147 , H01J37/21
Abstract: 本发明公开了一种高能量电子枪，包括电子发射机构、聚焦机构、偏转机构、差分抽真空维持机构和电极调节机构。由于本发明采用了差分抽真空维持机构，同时配合阳极结构的特点，可以保持控制极所在空间具有较高的真空度。由于阳极小孔和电子束出口的小孔尺寸很小，所以真空腔室和控制极圆管的内部空间两个腔体之间的气体导通率很小，使得差分抽真空可行，从而提高了阴极灯丝的使用寿命，进而延长了整个高能量电子枪的使用寿命。本发明通过改变聚焦机构中空芯线圈电流的大小，进而改变其内部的磁场强度来实现电子束的聚焦，从而调整电子束束斑的大小。本发明通过改变偏转机构中环形线圈电流的大小，从而调整电子束束斑的位置。
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公开(公告)号：CN103928278B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201410195904.4
申请日：2014-05-09
Applicant: 大连交通大学
IPC: H01J37/063 , H01J37/18 , H01J37/147 , H01J37/06
Abstract: 本发明公开了一种高能量电子枪，包括电子发射机构、聚焦机构、偏转机构、差分抽真空维持机构和电极调节机构。由于本发明采用了差分抽真空维持机构，同时配合阳极结构的特点，可以保持控制极所在空间具有较高的真空度。由于阳极小孔和电子束出口的小孔尺寸很小，所以真空腔室和控制极圆管的内部空间两个腔体之间的气体导通率很小，使得差分抽真空可行，从而提高了阴极灯丝的使用寿命，进而延长了整个高能量电子枪的使用寿命。本发明通过改变聚焦机构中空芯线圈电流的大小，进而改变其内部的磁场强度来实现电子束的聚焦，从而调整电子束束斑的大小。本发明通过改变偏转机构中环形线圈电流的大小，从而调整电子束束斑的位置。
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公开(公告)号：CN104797072A
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201510182364.0
申请日：2015-04-16
Applicant: 大连交通大学
IPC: H05H1/46
Abstract: 本发明公开了一种电感耦合式射频等离子体源，包括反应气体导入机构、等离子体发生机构、水冷机构、屏蔽机构和支撑连接机构，所述反应气体导入机构、等离子体发生机构、水冷机构和屏蔽机构通过支撑连接机构连接。该装置中的电感线圈在射频电流的驱动下，激发变化的磁场感生回旋电场。电子在有旋电场的加速下作回旋运动，与反应源气体分子碰撞将其电离。由于电子的回旋运动增加了与气体分子的碰撞，射频等离子体源可产生密度较高的等离子体，而且设备结构简单，能独立控制离子能量和等离子体密度。
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