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公开(公告)号：CN113783469A
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN202110905446.9
申请日：2021-08-09
Applicant: 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
Abstract: 本发明提供了一种微型压电厚膜振子，包括压电陶瓷厚膜、下电极、弹性体、分区上电极。该振子的结构根据功能可分为环形和直线形，通过给压电陶瓷施加交变电压激励出振子的驱动模态，使振子表面形成波形，实现动子不同的运动。压电陶瓷厚度介于薄膜和厚膜之间，兼具块材与薄膜的优点，驱动力大、驱动电压低。本发明通过电流体喷印技术直接将压电陶瓷厚膜喷印至下电极表面，通过共烧技术使弹性体、下电极和压电陶瓷厚膜形成无界面的整体，实现压电陶瓷厚膜和弹性体的一体化体系，显著提高了压电陶瓷和弹性体的结合强度，并提高了振子的驱动性能和长期可靠性，实现了微型化、大驱动力的压电振子制备，能满足狭小空间驱动要求。
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公开(公告)号：CN113852292A
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN202110905964.0
申请日：2021-08-09
Applicant: 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
Abstract: 本发明属于微型压电驱动器领域，提供了一种压电陶瓷‑基体一体化驱动器包括压电陶瓷、下电极、基体、分区上电极。基体上部分布齿形结构，底部为平面。下电极制备在基体底部。压电陶瓷通过电流体喷印技术直接将压电陶瓷喷印至下电极表面，通过高温共烧技术使基体、下电极和压电陶瓷形成无界面的整体，实现压电陶瓷和基体的一体化体系。分区上电极制备在压电陶瓷表面。本发明避免了传统压电驱动器中压电陶瓷粘接精度受限、工艺复杂等问题以及胶结层的结合强度差、对振动传递有损耗等问题，显著提高了压电陶瓷和基体的结合强度，并提高了驱动器的驱动性能和长期可靠性,实现了微型化、大驱动力的驱动器制造。
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公开(公告)号：CN113783469B
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202110905446.9
申请日：2021-08-09
Applicant: 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
Abstract: 本发明提供了一种微型压电厚膜振子，包括压电陶瓷厚膜、下电极、弹性体、分区上电极。该振子的结构根据功能可分为环形和直线形，通过给压电陶瓷施加交变电压激励出振子的驱动模态，使振子表面形成波形，实现动子不同的运动。压电陶瓷厚度介于薄膜和厚膜之间，兼具块材与薄膜的优点，驱动力大、驱动电压低。本发明通过电流体喷印技术直接将压电陶瓷厚膜喷印至下电极表面，通过共烧技术使弹性体、下电极和压电陶瓷厚膜形成无界面的整体，实现压电陶瓷厚膜和弹性体的一体化体系，显著提高了压电陶瓷和弹性体的结合强度，并提高了振子的驱动性能和长期可靠性，实现了微型化、大驱动力的压电振子制备，能满足狭小空间驱动要求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113852292B
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202110905964.0
申请日：2021-08-09
Applicant: 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
IPC: H02N2/16 , H02N2/14 , H02N2/12 , H02N2/00 , H10N30/074 , H10N30/093 , H10N30/097
Abstract: 本发明属于微型压电驱动器领域，提供了一种压电陶瓷‑基体一体化驱动器包括压电陶瓷、下电极、基体、分区上电极。基体上部分布齿形结构，底部为平面。下电极制备在基体底部。压电陶瓷通过电流体喷印技术直接将压电陶瓷喷印至下电极表面，通过高温共烧技术使基体、下电极和压电陶瓷形成无界面的整体，实现压电陶瓷和基体的一体化体系。分区上电极制备在压电陶瓷表面。本发明避免了传统压电驱动器中压电陶瓷粘接精度受限、工艺复杂等问题以及胶结层的结合强度差、对振动传递有损耗等问题，显著提高了压电陶瓷和基体的结合强度，并提高了驱动器的驱动性能和长期可靠性,实现了微型化、大驱动力的驱动器制造。
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公开(公告)号：CN111554804A
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN202010452734.9
申请日：2020-05-26
Applicant: 大连理工大学
IPC: H01L41/257
Abstract: 本发明公开了一种分区压电元件同步极化方法，属于具有压电特性材料的极化技术领域。本发明采用若干弹性伸缩探针触压压电元件上分区极化电极，并利用控制相对电压差的方式使各极化分区获得不同大小和方向的极化电压，完成了分区压电元件一次性同步极化。本发明提高了极化效率，避免了反复多次极化导致压电元件热退极化和分区极化强度不一致的问题。本发明实现了几百微米微小区域的极化，弹性伸缩探针与微小电极接触更加充分，使极化过程更稳定，避免了因受力不均导致的电极表面损伤，解决了传统极化方法对微小多分区压电元件极化时操作难、定位难等问题。同时，利用PC上位机控制高压发生器和温控单元，简化了极化过程、提高了极化质量。
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公开(公告)号：CN111554804B
公开(公告)日：2021-09-24
申请号：CN202010452734.9
申请日：2020-05-26
Applicant: 大连理工大学
IPC: H01L41/257
Abstract: 本发明公开了一种分区压电元件同步极化方法，属于具有压电特性材料的极化技术领域。本发明采用若干弹性伸缩探针触压压电元件上分区极化电极，并利用控制相对电压差的方式使各极化分区获得不同大小和方向的极化电压，完成了分区压电元件一次性同步极化。本发明提高了极化效率，避免了反复多次极化导致压电元件热退极化和分区极化强度不一致的问题。本发明实现了几百微米微小区域的极化，弹性伸缩探针与微小电极接触更加充分，使极化过程更稳定，避免了因受力不均导致的电极表面损伤，解决了传统极化方法对微小多分区压电元件极化时操作难、定位难等问题。同时，利用PC上位机控制高压发生器和温控单元，简化了极化过程、提高了极化质量。
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公开(公告)号：CN111554803B
公开(公告)日：2021-09-24
申请号：CN202010452732.X
申请日：2020-05-26
Applicant: 大连理工大学
IPC: H01L41/257
Abstract: 本发明公开了一种压电元件分区极化装置，属于具有压电特性材料的极化技术领域。该装置包括分区电压调节模块、探针调节模块和极化控制模块；所述分区电压调节模块可以调节每个分区的极化电压，实现极化分区电场的独立控制；所述探针调节模块采用弹性伸缩探针配合探针定位支架的方法可实现多个百微米级微小电极的精确定位和同步极化；所述极化控制模块可以控制极化所需的总电压和极化温度的时间变化曲线。本发明实现了多分区极化电场的独立控制，能一次性同步极化多分区压电元件，避免了反复多次极化导致压电元件热退极化和分区极化强度不一致的问题；解决了传统方法中的难操作、难定位、极化区域单一等问题，提高了分区压电元件的极化质量。
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公开(公告)号：CN111554803A
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN202010452732.X
申请日：2020-05-26
Applicant: 大连理工大学
IPC: H01L41/257
Abstract: 本发明公开了一种压电元件分区极化装置，属于具有压电特性材料的极化技术领域。该装置包括分区电压调节模块、探针调节模块和极化控制模块；所述分区电压调节模块可以调节每个分区的极化电压，实现极化分区电场的独立控制；所述探针调节模块采用弹性伸缩探针配合探针定位支架的方法可实现多个百微米级微小电极的精确定位和同步极化；所述极化控制模块可以控制极化所需的总电压和极化温度的时间变化曲线。本发明实现了多分区极化电场的独立控制，能一次性同步极化多分区压电元件，避免了反复多次极化导致压电元件热退极化和分区极化强度不一致的问题；解决了传统方法中的难操作、难定位、极化区域单一等问题，提高了分区压电元件的极化质量。
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