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公开(公告)号：CN113852292B
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202110905964.0
申请日：2021-08-09
Applicant: 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
IPC: H02N2/16 , H02N2/14 , H02N2/12 , H02N2/00 , H10N30/074 , H10N30/093 , H10N30/097
Abstract: 本发明属于微型压电驱动器领域，提供了一种压电陶瓷‑基体一体化驱动器包括压电陶瓷、下电极、基体、分区上电极。基体上部分布齿形结构，底部为平面。下电极制备在基体底部。压电陶瓷通过电流体喷印技术直接将压电陶瓷喷印至下电极表面，通过高温共烧技术使基体、下电极和压电陶瓷形成无界面的整体，实现压电陶瓷和基体的一体化体系。分区上电极制备在压电陶瓷表面。本发明避免了传统压电驱动器中压电陶瓷粘接精度受限、工艺复杂等问题以及胶结层的结合强度差、对振动传递有损耗等问题，显著提高了压电陶瓷和基体的结合强度，并提高了驱动器的驱动性能和长期可靠性,实现了微型化、大驱动力的驱动器制造。
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公开(公告)号：CN115149840A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210478254.9
申请日：2022-05-05
Applicant: 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
Abstract: 本发明提供了一种耦合驱动式微型压电马达，属于微型压电马达技术领域。该压电马达由协同运动支架和四个微型压电驱动元件组成。四个相同的微型压电驱动元件在同一平面以正方形的方式对称布置，单个微型压电驱动元件均可实现双向运动，并且能够实现单独控制。通过给微型压电驱动元件的压电体施加电压激励出驱动模态，使微型压电驱动元件表面形成波形，协同控制四个微型压电驱动元件的运动方向，即可实现旋转、直线或插补运动。本发明能满足安装空间纵向狭小的需求，四个微型压电驱动元件在压电马达驱动时被激发出驱动模态，能够提供大的推力；同时结构紧凑，输出平稳，显著提高了压电马达的驱动性能以及大行程稳定性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115149841A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210478296.2
申请日：2022-05-05
Applicant: 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
Abstract: 本发明提供了一种平面万向微型压电马达，属于微型压电马达技术领域。该压电马达采用四个相同的微型压电驱动元件在同一平面以正方形的方式对称布置，单个微型压电驱动元件均可实现双向运动，并且微型压电驱动元件能够实现单独控制。通过预压弹片实现微型压电驱动元件和被驱动部件的紧密贴合，利用万向槽与滚珠配合形成万向导引结构，实现平面内各方向的辅助运动。通过协同控制四个微型压电驱动元件的运动方向，实现旋转、直线或插补运动。本发明满足了安装空间纵向狭小的需求，微型压电驱动元件在压电马达驱动时同时被激发出驱动模态，能够提供大的推力，同时本发明结构紧凑，输出平稳，显著提高了压电马达的驱动性能以及大行程稳定性。
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公开(公告)号：CN113852292A
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN202110905964.0
申请日：2021-08-09
Applicant: 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
Abstract: 本发明属于微型压电驱动器领域，提供了一种压电陶瓷‑基体一体化驱动器包括压电陶瓷、下电极、基体、分区上电极。基体上部分布齿形结构，底部为平面。下电极制备在基体底部。压电陶瓷通过电流体喷印技术直接将压电陶瓷喷印至下电极表面，通过高温共烧技术使基体、下电极和压电陶瓷形成无界面的整体，实现压电陶瓷和基体的一体化体系。分区上电极制备在压电陶瓷表面。本发明避免了传统压电驱动器中压电陶瓷粘接精度受限、工艺复杂等问题以及胶结层的结合强度差、对振动传递有损耗等问题，显著提高了压电陶瓷和基体的结合强度，并提高了驱动器的驱动性能和长期可靠性,实现了微型化、大驱动力的驱动器制造。
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公开(公告)号：CN115149841B
公开(公告)日：2025-04-18
申请号：CN202210478296.2
申请日：2022-05-05
Applicant: 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
Abstract: 本发明提供了一种平面万向微型压电马达，属于微型压电马达技术领域。该压电马达采用四个相同的微型压电驱动元件在同一平面以正方形的方式对称布置，单个微型压电驱动元件均可实现双向运动，并且微型压电驱动元件能够实现单独控制。通过预压弹片实现微型压电驱动元件和被驱动部件的紧密贴合，利用万向槽与滚珠配合形成万向导引结构，实现平面内各方向的辅助运动。通过协同控制四个微型压电驱动元件的运动方向，实现旋转、直线或插补运动。本发明满足了安装空间纵向狭小的需求，微型压电驱动元件在压电马达驱动时同时被激发出驱动模态，能够提供大的推力，同时本发明结构紧凑，输出平稳，显著提高了压电马达的驱动性能以及大行程稳定性。
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公开(公告)号：CN113783469B
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202110905446.9
申请日：2021-08-09
Applicant: 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
Abstract: 本发明提供了一种微型压电厚膜振子，包括压电陶瓷厚膜、下电极、弹性体、分区上电极。该振子的结构根据功能可分为环形和直线形，通过给压电陶瓷施加交变电压激励出振子的驱动模态，使振子表面形成波形，实现动子不同的运动。压电陶瓷厚度介于薄膜和厚膜之间，兼具块材与薄膜的优点，驱动力大、驱动电压低。本发明通过电流体喷印技术直接将压电陶瓷厚膜喷印至下电极表面，通过共烧技术使弹性体、下电极和压电陶瓷厚膜形成无界面的整体，实现压电陶瓷厚膜和弹性体的一体化体系，显著提高了压电陶瓷和弹性体的结合强度，并提高了振子的驱动性能和长期可靠性，实现了微型化、大驱动力的压电振子制备，能满足狭小空间驱动要求。
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公开(公告)号：CN113783469A
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN202110905446.9
申请日：2021-08-09
Applicant: 大连理工大学 , 大连理工大学宁波研究院
Abstract: 本发明提供了一种微型压电厚膜振子，包括压电陶瓷厚膜、下电极、弹性体、分区上电极。该振子的结构根据功能可分为环形和直线形，通过给压电陶瓷施加交变电压激励出振子的驱动模态，使振子表面形成波形，实现动子不同的运动。压电陶瓷厚度介于薄膜和厚膜之间，兼具块材与薄膜的优点，驱动力大、驱动电压低。本发明通过电流体喷印技术直接将压电陶瓷厚膜喷印至下电极表面，通过共烧技术使弹性体、下电极和压电陶瓷厚膜形成无界面的整体，实现压电陶瓷厚膜和弹性体的一体化体系，显著提高了压电陶瓷和弹性体的结合强度，并提高了振子的驱动性能和长期可靠性，实现了微型化、大驱动力的压电振子制备，能满足狭小空间驱动要求。
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