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公开(公告)号:CN117286465A
公开(公告)日:2023-12-26
申请号:CN202311221220.2
申请日:2023-09-21
Applicant: 天津津航技术物理研究所
Abstract: 本发明公开一种高性能中波红外光学薄膜元件制备方法,涉及光学薄膜技术领域。该方法包括以下步骤:选择离子束溅射Si薄膜作为高折射率薄膜材料,以及,选择离子束溅射SiO2薄膜作为低折射率薄膜材料;获取离子束溅射Si薄膜和离子束溅射SiO2薄膜的光学常数,以及,中波红外减反射薄膜的基本膜系结构;根据技术指标要求,优化中波红外减反射薄膜的基本膜系结构,得到中波红外减反射薄膜;选择Si材料作为基底材料;在基底材料两侧分别镀制中波红外减反射薄膜,得到超低剩余反射、超低面形误差的中波红外光学薄膜元件。实现大口径、超低剩余反射、超低面形误差、环境适应好的中波红外光学薄膜元件的制造。
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公开(公告)号:CN113960709A
公开(公告)日:2022-01-21
申请号:CN202111374477.2
申请日:2021-11-19
Applicant: 天津津航技术物理研究所
IPC: G02B5/20
Abstract: 本申请提供一种大口径宽角谱滤光片及其制备方法,基于双面薄膜等应力的设计思想,在大口径基板双面分别进行长波通滤光薄膜和短波通滤光薄膜应力匹配设计,把应力作为评价光学薄膜的一项性能指标,提出光力一体化的设计方法制备薄膜,避免了滤光片大视场下光通量弱和应力过大造成元件面形超差两个问题。
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公开(公告)号:CN107479191B
公开(公告)日:2020-04-28
申请号:CN201710694623.7
申请日:2017-08-15
Applicant: 天津津航技术物理研究所
Abstract: 本发明属于属于光学薄膜技术领域,具体涉及一种可见光波段深截止的激光矩形滤光片及设计方法。本发明提出的激光矩形滤光片设计方法,将多腔滤光薄膜分成对称两个部分同时沉积在胶合基底的内表面,避免了多腔滤光片的制备误差累计问题。通过调整两个基底外表面的长波通和短波通截止滤光薄膜的周期数,可以控制截止带的截止深度。该设计方法提供的滤光元件,适用于熔融石英基底和玻璃基底基底,可实现在532nm激光波长达到95%以上的透过率,带宽小于1.5nm,截止深度小于1×10‑4。
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公开(公告)号:CN107561614B
公开(公告)日:2020-04-24
申请号:CN201710780421.4
申请日:2017-09-01
Applicant: 天津津航技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种大口径均匀性滤光片的制备方法,属于光学薄膜技术领域,解决由于大口径窄带滤光片对中心波长的敏感程度较高,中心波长微小的漂移均可能会导致滤光片透过率的下降的问题。该制备方法在基底上镀制总膜系的一半,将镀制的二个膜片反方向进行光胶,能够有助于改进大口径窄带滤光片的均匀性。结果表明,该方法将有助于大口径窄带滤光片均匀性的改进,实现大口径均匀的窄带滤光片的制备。
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公开(公告)号:CN110983253A
公开(公告)日:2020-04-10
申请号:CN201911146648.9
申请日:2019-11-21
Applicant: 天津津航技术物理研究所
Abstract: 本发明涉及一种高性能窄带滤光薄膜的制备方法,属于技术领域。本发明提供一种高性能窄带滤光薄膜的制备方法,将制备滤光薄膜的透过率曲线与相近的理论曲线进行对比分析,通过对滤光薄膜的间隔层沉积时间进行修正,实现高性能窄带滤光薄膜的制备。本发明对于不同工作波长不同带宽的窄带滤光薄膜的制备具有普适性。
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公开(公告)号:CN107515438A
公开(公告)日:2017-12-26
申请号:CN201710795923.4
申请日:2017-09-06
Applicant: 天津津航技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种红外宽谱段截止窄带激光分光元件,其包括:基底,基底的第一表面(a)上镀长波通截止滤光薄膜,基底的第二表面(b)上镀窄带通滤光薄膜。本发明分别将长波通和窄带通滤光片设计在元件的两个表面,通过调整两个膜系结构的厚度,能够有效控制表面的面形变化,可实现的技术指标如下为:3μm-5μm波长范围内的反射率达到99.99%以上,8μm-10.5μm波长范围内的平均反射率达到96%以上,10.7μm-12μm波长范围内的平均反射率达到93%以上;10.6μm波长的带宽为0.3μm,透过率达到94%以上。
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公开(公告)号:CN107367466B
公开(公告)日:2019-12-03
申请号:CN201710564513.9
申请日:2017-07-12
Applicant: 天津津航技术物理研究所
IPC: G01N21/25
Abstract: 本发明涉及一种硫化锌材料短波长散射消光系数的表征方法,属于光学材料技术领域。本发明从介电常数方程上建立了散射消光模型,重新构建了硫化锌材料的可见光到红外的介电常数模型,基于介电常数与透过率光谱的关系,在实验上通过测试出光谱透过率,从光谱透过率反向计算出散射消光系数。本发明可应用于不同制备工艺方法的多晶硫化锌材料散射消光系数的测试。
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公开(公告)号:CN107315210B
公开(公告)日:2019-08-16
申请号:CN201710694575.1
申请日:2017-08-15
Applicant: 天津津航技术物理研究所
IPC: G02B5/08
Abstract: 本发明属于光学薄膜技术领域,具体涉及一种具有全向入射角度的消偏振介质薄膜激光反射镜及设计方法。本发明提出的全向消偏振介质薄膜激光反射镜,使用高折射率和低折射率两种薄膜材料交替的组合方式,考虑到入射波长对于折射率的影响,对膜系结构的光学厚度系数矩阵进行多次修正,并经过薄膜设计软件对膜系结构进行全数值优化,最终能够获得入射角0‑90°范围内,最小反射率大于99.88%的全向反射薄膜,并且两个偏振的反射率差最大为0.1%,使得该膜系具有较高的应用价值。
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公开(公告)号:CN106706521B
公开(公告)日:2019-08-16
申请号:CN201611141412.2
申请日:2016-12-12
Applicant: 天津津航技术物理研究所
IPC: G01N21/25
Abstract: 本发明公开了一种光学薄膜超宽带光学常数的测试方法,用于计算光学薄膜材料在可见光到红外波段的全谱段光学常数,尤其是针对0.3um‑20um波长范围内,通过使用基底‑薄膜透明区的光谱透射率和非透明区的光谱反射率相复合作为目标光谱,以振荡子模型作为光学常数的色散模型,通过目标光谱数据反演计算出薄膜的超宽带光学常数。本方法对于薄膜材料具有普适性。
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