一种蓝宝石晶棒加工用磨削装置及其磨削方法

    公开(公告)号:CN118905836A

    公开(公告)日:2024-11-08

    申请号:CN202411273997.8

    申请日:2024-09-12

    Abstract: 本发明涉及晶棒加工技术领域,且公开了一种蓝宝石晶棒加工用磨削装置及其磨削方法,包括底座,底座的顶部固定连接有马达,底座的顶部固定连接有横向磨削机,在使用前,接通马达的电源,晶棒通过入料圆槽放入方形槽内部后,跟随转动盘的旋转同步移动,而随着转动盘的旋转,晶棒裸露在外的一侧与竖向磨削机的磨盘接触,完成晶棒一侧的初步研磨,转动盘继续旋转,并带动晶棒继续移动,此时方形槽的出口逐渐转向下方,晶棒受自身重量的影响,使晶棒的外壁与入料圆槽的内壁接触,晶棒将以上接触点作为中心点向下转动,使得晶棒未研磨的一端与横向磨削机的磨盘接触,完成晶棒另一侧的初步研磨,实现对晶棒两侧的初步研磨,提高加工效率。

    一种晶棒加工自动送料磨削装置及其使用方法

    公开(公告)号:CN119175605A

    公开(公告)日:2024-12-24

    申请号:CN202411325712.0

    申请日:2024-09-23

    Abstract: 本发明涉及晶棒磨削设备领域,具体为一种晶棒加工自动送料磨削装置及其使用方法,包括底座,所述底座的顶部开设有蓄水槽,所述蓄水槽的内顶面对称固定连接有支撑环架,两个所述支撑环架之间转动连接有支撑筒,所述支撑筒的两侧与底座的顶部之间活动连接有送料传动机构,所述支撑筒的中部活动套接有传动环。该种晶棒加工自动送料磨削装置由送料传动机构和调节机构组成;在送料传动机构作用下由支撑筒内部的弧形磨削板对晶棒进行磨削加工,同时送料传动机构与调节机构配合带着四个弧形磨削板自动切换磨削状态,便于对切换状态后的弧形磨削板表面进行清洁,避免弧形磨削板在长期打磨作业过程中,表面粘附晶粉而影响磨削质量。

    一种晶圆背面磨床的清洗组件

    公开(公告)号:CN213915114U

    公开(公告)日:2021-08-10

    申请号:CN202022638031.3

    申请日:2020-11-16

    Abstract: 本实用新型公开了一种晶圆背面磨床的清洗组件,包括外框体、冲洗组件以及清理组件,所述清理组件设置在外框体内,所述冲洗组件设置在外框体上,所述冲洗组件用以将洗涤液注入清理组件,所述清理组件包括壳体部件、支撑部件、升降部件、甩干部件,所述甩干部件包括吸附件、转动件以及驱动件,所述吸附件与转动件相连接,所述驱动件与转动件相连接,所述驱动件带动转动件转动;所述甩干部件部分设置在壳体部件内,所述支撑部件设置在壳体部件一侧且与外框体相连接,所述升降部件设置在壳体部件下方且与甩干部件相连接,所述升降部件可带动甩干部件上下运动。本实用新型结构紧凑,具有清洗以及甩干的功能,使用方便。

Patent Agency Ranking