公开(公告)号：CN213917721U

公开(公告)日：2021-08-10

申请号：CN202022649979.9

申请日：2020-11-16

Applicant: 天通日进精密技术有限公司

Inventor： 张王锋 ,  吴丰杰 ,  张佳斌 ,  王涛 ,  赵文豪

IPC: B24B41/00 ,  H01L21/68

Abstract: 本实用新型公开了一种晶圆背面磨床的物料定位装置，包括吸附盘、安装壳体、旋转机构以及定中心机构，所述安装壳体包括底座、导向板以及安装板，所述导向板上呈环形阵列的设置有至少三个导向孔，所述导向孔在其延伸方向上均穿过同一个圆心；所述旋转机构包括驱动组件以及传动组件，所述传动组件设置在安装壳体内且位于驱动组件一侧，所述驱动组件带动传动组件转动；至少三个所述定中心机构呈圆形阵列分布在传动组件上，所述定中心机构包括相连接的连接组件以及滑动组件，所述连接组件与传动组件相连接，所述滑动组件穿过导向孔且可沿导向孔运动。本实用新型对晶圆进行定中心操作，提高精度以及产品的磨削质量。

公开(公告)号：CN213915114U

公开(公告)日：2021-08-10

申请号：CN202022638031.3

申请日：2020-11-16

Applicant: 天通日进精密技术有限公司

Inventor： 俞佳文 ,  翟潇杰 ,  赵文豪 ,  王佳鑫 ,  张佳斌

IPC: B08B3/02 ,  B08B13/00 ,  H01L21/67

Abstract: 本实用新型公开了一种晶圆背面磨床的清洗组件，包括外框体、冲洗组件以及清理组件，所述清理组件设置在外框体内，所述冲洗组件设置在外框体上，所述冲洗组件用以将洗涤液注入清理组件，所述清理组件包括壳体部件、支撑部件、升降部件、甩干部件，所述甩干部件包括吸附件、转动件以及驱动件，所述吸附件与转动件相连接，所述驱动件与转动件相连接，所述驱动件带动转动件转动；所述甩干部件部分设置在壳体部件内，所述支撑部件设置在壳体部件一侧且与外框体相连接，所述升降部件设置在壳体部件下方且与甩干部件相连接，所述升降部件可带动甩干部件上下运动。本实用新型结构紧凑，具有清洗以及甩干的功能，使用方便。