公开(公告)号：CN106688082A

公开(公告)日：2017-05-17

申请号：CN201580048053.3

申请日：2015-08-04

Applicant: 奥加诺株式会社

Inventor： 林佳史 ,  山下幸福 ,  山中弘次 ,  矢野大作

IPC: H01L21/304 ,  B01F1/00 ,  B01F3/08 ,  B01F5/00 ,  B01F15/04

Abstract: 本发明的稀释液制造方法通过对第一液体添加第二液体来制造该第二液体的稀释液，该稀释液制造方法包括以下步骤：使第一液体在第一配管(11)中流动；对用于贮存第二液体的罐体(12)内的压力进行控制，通过将罐体(12)与第一配管(11)连接的第二配管(13)来将第二液体添加到第一配管(11)内的第一液体。添加第二液体的步骤中包括以下步骤：测定第一配管(11)内流动的第一液体的流量或稀释液的流量；测定稀释液的成分浓度；以及基于流量的测定值和成分浓度的测定值来控制罐体(12)内的压力，使得稀释液的成分浓度为规定值。

公开(公告)号：CN106688082B

公开(公告)日：2019-08-30

申请号：CN201580048053.3

申请日：2015-08-04

Applicant: 奥加诺株式会社

Inventor： 林佳史 ,  山下幸福 ,  山中弘次 ,  矢野大作

IPC: H01L21/304 ,  B01F1/00 ,  B01F3/08 ,  B01F5/00 ,  B01F15/04

Abstract: 本发明的稀释液制造方法通过对第一液体添加第二液体来制造该第二液体的稀释液，该稀释液制造方法包括以下步骤：使第一液体在第一配管(11)中流动；对用于贮存第二液体的罐体(12)内的压力进行控制，通过将罐体(12)与第一配管(11)连接的第二配管(13)来将第二液体添加到第一配管(11)内的第一液体。添加第二液体的步骤中包括以下步骤：测定第一配管(11)内流动的第一液体的流量或稀释液的流量；测定稀释液的成分浓度；以及基于流量的测定值和成分浓度的测定值来控制罐体(12)内的压力，使得稀释液的成分浓度为规定值。

公开(公告)号：CN106061905A

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201580009654.3

申请日：2015-01-06

Applicant: 奥加诺株式会社

Inventor： 林佳史 ,  山下幸福 ,  山中弘次

IPC: C02F1/78 ,  B01F1/00 ,  B01F15/02 ,  B01F15/04 ,  C01B13/10

CPC classification number: B01F3/04985 ,  B01F3/04439 ,  B01F3/2057 ,  B01F5/106 ,  B01F15/0022 ,  B01F15/00344 ,  B01F15/0408 ,  B01F2003/04886 ,  C01B13/11 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/90 ,  C02F1/78 ,  C02F2103/04 ,  C02F2201/782 ,  C02F2209/23

Abstract: 提供一种臭氧水供给方法，其特征在于，边将原料超纯水供给至循环罐并将在使用点未被使用的返送臭氧水返送至该循环罐，边将该循环罐内的被溶解水以一定的供给量供给至臭氧溶解单元，在该臭氧溶解单元中使臭氧溶解于该被溶解水而得到臭氧溶解水，接着，将所得该臭氧溶解水供给至该使用点，向放电式的臭氧产生单元供给氮气的含量为0.01体积％以下的氧气作为原料氧气，接着，将所得该含臭氧气体供给至该臭氧溶解单元，调节供给至该循环罐的该原料超纯水的供给量，调节该臭氧溶解水中的溶存臭氧浓度。利用本发明，可以提供：使用放电式的臭氧产生单元时能够抑制硝酸在循环体系内的蓄积的臭氧水供给方法和用于实施该方法的臭氧水供给装置。