公开(公告)号：CN110467462A

公开(公告)日：2019-11-19

申请号：CN201910732234.8

申请日：2019-08-09

Applicant: 宁夏中色新材料有限公司 ,  西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司

Inventor： 胡强楠 ,  征卫星 ,  马文卫 ,  张帅 ,  赵志勇 ,  刘秉宁 ,  孟将 ,  李正飞 ,  饶晓方

IPC: C04B35/495 ,  C04B35/622 ,  C22C29/12 ,  C22C1/05 ,  C23C14/35 ,  B22F3/04 ,  B22F3/14

Abstract: 一种高致密低电阻氧化铌旋转靶材及其制备方法，该靶材密度≥4.5g/cm3，电阻率≤1.4×10-3Ω·cm，长度≥400mm，壁厚6—14mm。制备方法包括以下步骤：1）粉末混合：将氧化铌粉末与金属铌粉进行机械混合均匀；2）粉末预烧：对步骤1）中混合后粉末进行真空预烧；3）粉末处理：对预烧粉末进行球磨处理；4）冷等静压成型：对处理粉末装入模具中冷等静压预压成型旋转靶材坯体；5）坯体车削加工：对靶材坯体进行车削加工；6）真空热压烧结：对加工坯体置入石墨模具中进行热压真空烧结；7）靶坯加工：对烧结旋转靶材靶坯按尺寸加工，即得到高致密低电阻旋转氧化铌靶材。该靶材导电性较好，具有较好的物理和化学性能，有效提高靶材产品质量。