一种光波导的热压印装置

    公开(公告)号:CN103158252A

    公开(公告)日:2013-06-19

    申请号:CN201310091748.2

    申请日:2013-03-21

    Applicant: 宁波大学

    Abstract: 本发明公开了一种光波导的热压印装置,特点是:热压印腔体的顶部设有盖板,热压印腔体固设在样品台的上方,热压印腔体内设有工作腔,工作腔内设置有能够耐高温的膜层,膜层将工作腔分隔成压力腔和真空腔,压力腔位于真空腔的上方,压力腔通过气体管道与气动增压装置相连,样品台的台面上放置有模具,模具位于真空腔内,样品台的下方设置有带有温控系统的加热装置,样品台与加热装置之间具有间隙,样品台内设置有热缓冲腔,真空腔与热缓冲腔相连通,热缓冲腔的一侧与冷却装置相连,热缓冲腔的另一侧与抽真空装置相连;优点是:热压印的温度、冷却和压力可控,使热压印样品受热均匀,热压印后脱模顺利,可大大提高光波导的热压印质量。

    一种光波导的热压印装置

    公开(公告)号:CN103158252B

    公开(公告)日:2015-08-12

    申请号:CN201310091748.2

    申请日:2013-03-21

    Applicant: 宁波大学

    Abstract: 本发明公开了一种光波导的热压印装置,特点是:热压印腔体的顶部设有盖板,热压印腔体固设在样品台的上方,热压印腔体内设有工作腔,工作腔内设置有能够耐高温的膜层,膜层将工作腔分隔成压力腔和真空腔,压力腔位于真空腔的上方,压力腔通过气体管道与气动增压装置相连,样品台的台面上放置有模具,模具位于真空腔内,样品台的下方设置有带有温控系统的加热装置,样品台与加热装置之间具有间隙,样品台内设置有热缓冲腔,真空腔与热缓冲腔相连通,热缓冲腔的一侧与冷却装置相连,热缓冲腔的另一侧与抽真空装置相连;优点是:热压印的温度、冷却和压力可控,使热压印样品受热均匀,热压印后脱模顺利,可大大提高光波导的热压印质量。

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