利用扩展局部振荡器信号的并行干涉测量

    公开(公告)号:CN1580727A

    公开(公告)日:2005-02-16

    申请号:CN200410050189.1

    申请日:2004-06-25

    CPC classification number: G01M11/331 G01M11/31

    Abstract: 本发明公开了一种用于表征被测试器件(DUT)(116;216;516)的光学性质的系统,该系统利用扩展局部振荡器信号来进行多个并行干涉测量。在一个系统中,扩展局部振荡器信号被光学连接到透镜阵列(106)。该透镜阵列将扩展扫频局部振荡器信号聚焦成多条光束。然后这多条光束用在多个并行干涉测量中。根据应用,这多条光束可用作参考光束,或应用到DUT并用作测试光束。测试光束和参考光束被组合来进行干涉测量。在另一个系统中,扩展局部振荡器信号的一部分(209;509)可作为测试光束直接应用到DUT,而扩展局部振荡器信号的另一部分(207;507)用作参考光束。

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