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公开(公告)号：CN106716112B
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201580052315.3
申请日：2015-09-29
Applicant: 统一半导体公司
CPC classification number: G01B11/2441 , G01B9/02034 , G01B2210/56 , G01M11/331 , G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N21/9503 , H01L22/12
Abstract: 本发明涉及一种用于检验用于电学、光学或光电学的晶片的方法，其包括：使晶片绕与所述晶片的主表面垂直的对称轴转动；从与干涉装置(30)耦接的光源(20)发射两条类准直入射光束，以在两条光束之间的交叉处形成包含干涉条纹的测量空间，缺陷通过所述测量空间的时间特征取决于缺陷在所述测量空间中通过的位置处的条纹间距的值，所述干涉装置(30)和所述晶片相对于彼此布置为使得所述测量空间在所述晶片的区域中延伸；收集由所述晶片的所述区域散射的光的至少一部分；捕获所收集的光并发射电信号；在所述信号中检测所述所收集的光的强度变化中的频率分量；从所述缺陷通过的位置处的所述条纹间距的值，确定所述缺陷在径向方向和/或所述晶片的厚度中的位置。
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公开(公告)号：CN102713528B
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201080033359.9
申请日：2010-05-27
Applicant: 希里克萨有限公司
Inventor： 马哈茂德·法哈蒂罗山 , 汤姆·理查德·帕克 , 谢尔盖·沙塔林
IPC: G01D5/353
CPC classification number: G01H9/004 , E21B47/0002 , E21B47/101 , G01D5/35303 , G01D5/35306 , G01D5/35325 , G01D5/35335 , G01D5/35358 , G01D5/35364 , G01D5/35377 , G01D5/35383 , G01F1/66 , G01F1/661 , G01M11/331 , G01V1/40
Abstract: 本发明提供了用于快速定量测量沿着一段光纤传输、反射和/或散射的光场的扰动的新颖的装置及方法。本发明可以用于点传感器以及分布式传感器或两者的结合。特别地，这种技术可以应用于分布式传感器，同时显著地提高速度和灵敏度以允许检测沿一段光纤的任何地方的声波扰动，同时达到良好的空间分辨率。本发明在较广范围的声学感测和成像应用中提供了独特的优势。典型的用途是用于监测油井和气井，以用于诸如分布式流量计量和/或成像；地震成像，监测长电缆和管道；在大型容器内部成像以及安全应用。
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公开(公告)号：CN102713528A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201080033359.9
申请日：2010-05-27
Applicant: 希里克萨有限公司
Inventor： 马哈茂德·法哈蒂罗山 , 汤姆·理查德·帕克 , 谢尔盖·沙塔林
IPC: G01D5/353
CPC classification number: G01H9/004 , E21B47/0002 , E21B47/101 , G01D5/35303 , G01D5/35306 , G01D5/35325 , G01D5/35335 , G01D5/35358 , G01D5/35364 , G01D5/35377 , G01D5/35383 , G01F1/66 , G01F1/661 , G01M11/331 , G01V1/40
Abstract: 本发明提供了用于快速定量测量沿着一段光纤传输、反射和/或散射的光场的扰动的新颖的装置及方法。本发明可以用于点传感器以及分布式传感器或两者的结合。特别地，这种技术可以应用于分布式传感器，同时显著地提高速度和灵敏度以允许检测沿一段光纤的任何地方的声波扰动，同时达到良好的空间分辨率。本发明在较广范围的声学感测和成像应用中提供了独特的优势。典型的用途是用于监测油井和气井，以用于诸如分布式流量计量和/或成像；地震成像，监测长电缆和管道；在大型容器内部成像以及安全应用。
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公开(公告)号：CN101144751B
公开(公告)日：2011-02-23
申请号：CN200710152124.1
申请日：2007-09-17
Applicant: 安科特纳有限责任公司
Inventor： 文森特·勒科奇
CPC classification number: G01M11/336 , G01M11/331
Abstract: 本发明公开了一种用于测量受试器件(DUT)内偏振模色散(PMD)的装置，包括偏振光源，用于经DUT发射测试光束；以及PMD分析仪，它采用多种已知技术中的一种，如固定分析仪-傅立叶变换(FA-FT)或干涉仪式，以计算DUT引起的PMD。在光源与PMD分析仪之间布置有由多个双折射元件组成的无源消偏器，以生成多个对应于双折射元件所施加时延的载波频率。DUT的PMD成分存在于每个载波周围，可以对多个PMD测量值取平均来获得更为精确且可再现的PMD测量值。
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公开(公告)号：CN1196793A
公开(公告)日：1998-10-21
申请号：CN96194853.1
申请日：1996-05-17
Applicant: 阿尔卡特尔电信电缆公司
Inventor： 特里·L·沃特斯
IPC: G01J4/04
CPC classification number: G01M11/336 , G01M11/331
Abstract: 提出一种高分辨率测量光纤偏振模色散的方法,该方法包括的步骤有:提供带光源的偏振模色散测量仪;提供待测光纤;与待测光纤串接一人造体,此人造体有稳定的已知偏振模色散值;使光源射出的光通过人造体及待测光纤;利用已从偏振模色散零值位移的偏振模色散测量仪,测量位移的偏振模色散值;从测得已位移的偏振模色散值,确定光纤的偏振模色散。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107271147A
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201710447871.1
申请日：2017-06-14
Applicant: 北京航空航天大学
IPC: G01M11/02
CPC classification number: G01M11/331
Abstract: 本发明提出一种光纤陀螺用保偏光纤环分布偏振串扰数据处理方法。保偏光纤环分布偏振串扰数据由光相干域偏光计测得，存在“伪”偏振耦合数据，需要通过处理获得“真”偏振耦合数据。数据处理步骤为：1)设置阈值去除分布偏振串扰数据的背景噪声；2)基于测试宽谱光源相干长度对偏振串扰分布数据进行耦合状态划分；3)基于建立的串扰干涉模型对不同耦合状态数据进行真实偏振串扰强度和位置解算；4)形成与测试光源无关的光纤陀螺保偏光纤环分布偏振串扰数据。本发明避免了直接使用偏振串扰分布数据所带来的信息混叠问题，由于处理后得到的数据与测试光源参数无关，解决了测试状态与在光纤陀螺中实际应用状态不一致的问题。
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公开(公告)号：CN105675258A
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201610008795.X
申请日：2016-01-04
Applicant: 安徽大学
IPC: G01M11/00
CPC classification number: G01M11/331
Abstract: 本发明涉及高双折射光纤参数测量领域，具体为一种基于干涉级数的高双折射光纤拍长测量方法及测量装置。现有的拍长测量方法，计算结果依赖的测量参量均较多，导致计算结果误差较大。为解决上述问题，本发明提供一种基于干涉级数的高双折射光纤拍长测量方法及测量装置。测量方法步骤如下：A.测量待测高双折射光纤的长度L；B.搭建以高双折射光纤快轴和慢轴构成干涉光路相位差的干涉仪；C.获得干涉光谱，采集相邻两个极值的波长，计算出极值波长所对应的干涉级数N；D.根据拍长计算公式计算出不同极值波长下的拍长。本发明所述的测量方法，依赖参量少，测量误差小，测量精度高。本发明提供的测量装置，结构简单，易于实现。
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公开(公告)号：CN103261868B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201180059713.X
申请日：2011-10-18
Applicant: 株式会社藤仓
Inventor： 小川宪介
IPC: G01M11/02
CPC classification number: G01J3/45 , G01M11/331 , G01M11/335 , G01M11/336
Abstract: 波长色散测定装置具有：光分支部，将入射的被测定光信号分离成第1以及第2被测定光信号，在射出时使第1以及第2被测定光信号之间产生频率差；第1以及第2分支路径，具有偏振波保持特性；光移相器，被设置于第1以及第2分支路径的任意一方，使光测定光信号的相位αi周期性地变化；光结合部，对第1以及第2被测定光信号进行叠加，将相位为αi的第i光分量的干涉要素作为叠加波被测定光信号射出；光频率扫描部，扫描使叠加波被测定光信号通过的频率范围，提取频率范围的光谱分量作为分量被测定光信号射出；光检测部，将分量被测定光信号作为干涉信号；和控制部，与光移相器的相位的变化同步地沿时间序列获取与第i光分量对应的干涉信号。
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公开(公告)号：CN103261868A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201180059713.X
申请日：2011-10-18
Applicant: 株式会社藤仓
Inventor： 小川宪介
IPC: G01M11/02
CPC classification number: G01J3/45 , G01M11/331 , G01M11/335 , G01M11/336
Abstract: 波长色散测定装置具有：光分支部，将入射的被测定光信号分离成第1以及第2被测定光信号，在射出时使第1以及第2被测定光信号之间产生频率差；第1以及第2分支路径，具有偏振波保持特性；光移相器，被设置于第1以及第2分支路径的任意一方，使光测定光信号的相位αi周期性地变化；光结合部，对第1以及第2被测定光信号进行叠加，将相位为αi的第i光分量的干涉要素作为叠加波被测定光信号射出；光频率扫描部，扫描使叠加波被测定光信号通过的频率范围，提取频率范围的光谱分量作为分量被测定光信号射出；光检测部，将分量被测定光信号作为干涉信号；和控制部，与光移相器的相位的变化同步地沿时间序列获取与第i光分量对应的干涉信号。
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公开(公告)号：CN1580727A
公开(公告)日：2005-02-16
申请号：CN200410050189.1
申请日：2004-06-25
Applicant: 安捷伦科技有限公司
Inventor： 格雷戈里·D·范维格瑞恩 , 道格拉斯·M·巴内
IPC: G01M11/02
CPC classification number: G01M11/331 , G01M11/31
Abstract: 本发明公开了一种用于表征被测试器件(DUT)(116；216；516)的光学性质的系统，该系统利用扩展局部振荡器信号来进行多个并行干涉测量。在一个系统中，扩展局部振荡器信号被光学连接到透镜阵列(106)。该透镜阵列将扩展扫频局部振荡器信号聚焦成多条光束。然后这多条光束用在多个并行干涉测量中。根据应用，这多条光束可用作参考光束，或应用到DUT并用作测试光束。测试光束和参考光束被组合来进行干涉测量。在另一个系统中，扩展局部振荡器信号的一部分(209；509)可作为测试光束直接应用到DUT，而扩展局部振荡器信号的另一部分(207；507)用作参考光束。
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