公开(公告)号：CN103885179B

公开(公告)日：2017-12-15

申请号：CN201310593817.X

申请日：2013-11-21

Applicant: 安捷伦科技有限公司

Inventor： G.雷斯勒 ,  J.H.萨勒

IPC: G02B26/10 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01B9/02 ,  G01B9/02015 ,  G01J3/06 ,  G01J3/45 ,  G01J3/4535 ,  G01J2003/061 ,  G01N21/35 ,  G01N2021/3595 ,  G01N2201/061 ,  G01N2201/10 ,  G02B7/182

Abstract: 一种干涉仪包括固定组件和可移动组件，所述固定组件包括基座、分束器组件和固定反射镜，所述可移动组件包括上扫描架、下扫描架和连接到下扫描架的可移动反射镜。一对内挠曲支承件连接到基座和上扫描架，允许上扫描架相对于基座的运动，并且一对外挠曲支承件连接到上和下扫描架，允许下扫描架相对于上扫描架的运动。上和下扫描架的运动允许可移动反射镜在扫描方向上的扫描运动，所述扫描运动被限制成使得在扫描运动期间，扫描运动保持包含可移动反射镜的平面，平行于在可移动和固定组件之间的相应距离处的包含可移动反射镜的多个平面。

公开(公告)号：CN103885179A

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：CN201310593817.X

申请日：2013-11-21

Applicant: 安捷伦科技有限公司

Inventor： G.雷斯勒 ,  J.H.萨勒

IPC: G02B26/10 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01B9/02 ,  G01B9/02015 ,  G01J3/06 ,  G01J3/45 ,  G01J3/4535 ,  G01J2003/061 ,  G01N21/35 ,  G01N2021/3595 ,  G01N2201/061 ,  G01N2201/10 ,  G02B7/182

Abstract: 一种干涉仪包括固定组件和可移动组件，所述固定组件包括基座、分束器组件和固定反射镜，所述可移动组件包括上扫描架、下扫描架和连接到下扫描架的可移动反射镜。一对内挠曲支承件连接到基座和上扫描架，允许上扫描架相对于基座的运动，并且一对外挠曲支承件连接到上和下扫描架，允许下扫描架相对于上扫描架的运动。上和下扫描架的运动允许可移动反射镜在扫描方向上的扫描运动，所述扫描运动被限制成使得在扫描运动期间，扫描运动保持包含可移动反射镜的平面，平行于在可移动和固定组件之间的相应距离处的包含可移动反射镜的多个平面。