公开(公告)号：CN106066205A

公开(公告)日：2016-11-02

申请号：CN201610355268.6

申请日：2016-05-25

Applicant: 北京雪迪龙科技股份有限公司

Inventor： 敖小强 ,  石磊 ,  郜武

IPC: G01J3/02 ,  G01J3/06 ,  G01J3/45 ,  G02B26/08

CPC classification number: G01J3/0259 ,  G01J3/06 ,  G01J3/45 ,  G01J2003/061 ,  G01J2003/064 ,  G02B26/0833

Abstract: 本发明公开了微动机构、动镜干涉仪和采用动镜干涉仪的红外光谱仪，其中，该微动机构包括主动机构和从动机构,该主动机构包括：主动弹性簧片组、主动动子、斜块和主动定子；该从动机构包括：从动弹性簧片组、镜座、从动块、从动定子以及动镜模块；主动弹性簧片组的活动端处设置有所述主动动子和斜块，所述主动弹性簧片组的固定端通过所述主动定子固定；所述从动弹性簧片组的活动端处设置有镜座，所述从动块和所述动镜模块固定在所述镜座处，所述从动弹性簧片组的固定端通过所述从动定子固定，使所述从动弹性簧片组与主动弹性簧片组在未受外力时相互垂直，且使所述从动块与所述斜块可动地接触。具有体积小、重量轻、成本低、性能稳定的多种优点。

公开(公告)号：CN103885179A

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：CN201310593817.X

申请日：2013-11-21

Applicant: 安捷伦科技有限公司

Inventor： G.雷斯勒 ,  J.H.萨勒

IPC: G02B26/10 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01B9/02 ,  G01B9/02015 ,  G01J3/06 ,  G01J3/45 ,  G01J3/4535 ,  G01J2003/061 ,  G01N21/35 ,  G01N2021/3595 ,  G01N2201/061 ,  G01N2201/10 ,  G02B7/182

Abstract: 一种干涉仪包括固定组件和可移动组件，所述固定组件包括基座、分束器组件和固定反射镜，所述可移动组件包括上扫描架、下扫描架和连接到下扫描架的可移动反射镜。一对内挠曲支承件连接到基座和上扫描架，允许上扫描架相对于基座的运动，并且一对外挠曲支承件连接到上和下扫描架，允许下扫描架相对于上扫描架的运动。上和下扫描架的运动允许可移动反射镜在扫描方向上的扫描运动，所述扫描运动被限制成使得在扫描运动期间，扫描运动保持包含可移动反射镜的平面，平行于在可移动和固定组件之间的相应距离处的包含可移动反射镜的多个平面。

公开(公告)号：CN103885179B

公开(公告)日：2017-12-15

申请号：CN201310593817.X

申请日：2013-11-21

Applicant: 安捷伦科技有限公司

Inventor： G.雷斯勒 ,  J.H.萨勒

IPC: G02B26/10 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01B9/02 ,  G01B9/02015 ,  G01J3/06 ,  G01J3/45 ,  G01J3/4535 ,  G01J2003/061 ,  G01N21/35 ,  G01N2021/3595 ,  G01N2201/061 ,  G01N2201/10 ,  G02B7/182

Abstract: 一种干涉仪包括固定组件和可移动组件，所述固定组件包括基座、分束器组件和固定反射镜，所述可移动组件包括上扫描架、下扫描架和连接到下扫描架的可移动反射镜。一对内挠曲支承件连接到基座和上扫描架，允许上扫描架相对于基座的运动，并且一对外挠曲支承件连接到上和下扫描架，允许下扫描架相对于上扫描架的运动。上和下扫描架的运动允许可移动反射镜在扫描方向上的扫描运动，所述扫描运动被限制成使得在扫描运动期间，扫描运动保持包含可移动反射镜的平面，平行于在可移动和固定组件之间的相应距离处的包含可移动反射镜的多个平面。