公开(公告)号：CN111051002A

公开(公告)日：2020-04-21

申请号：CN201880057479.9

申请日：2018-10-09

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 广田幸史 ,  前田敏秀 ,  久米贵宏

IPC: B24B37/30 ,  H01L21/304

Abstract: 保持垫，其为具备树脂片材的保持垫，所述树脂片材具有用于保持被研磨物的保持面，其中，下述式(1)表示的、乙醇向上述保持面的渗透速度为1.0～2.0度/秒。渗透速度＝(C0-C20)/20···(1)C0：刚向上述保持面滴加乙醇后的、上述乙醇与上述保持面的接触角，C20：从滴加上述乙醇起20秒后的、上述乙醇与上述保持面的上述接触角。

公开(公告)号：CN111051002B

公开(公告)日：2021-10-26

申请号：CN201880057479.9

申请日：2018-10-09

Applicant: 富士纺控股株式会社

Inventor： 广田幸史 ,  前田敏秀 ,  久米贵宏

IPC: B24B37/30 ,  H01L21/304

Abstract: 保持垫，其为具备树脂片材的保持垫，所述树脂片材具有用于保持被研磨物的保持面，其中，下述式(1)表示的、乙醇向上述保持面的渗透速度为1.0～2.0度/秒。渗透速度＝(C0‑C20)/20···(1)C0：刚向上述保持面滴加乙醇后的、上述乙醇与上述保持面的接触角，C20：从滴加上述乙醇起20秒后的、上述乙醇与上述保持面的上述接触角。