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公开(公告)号:CN107000173B
公开(公告)日:2018-09-25
申请号:CN201580006144.0
申请日:2015-07-27
Applicant: 富士纺控股株式会社
Abstract: 一种研磨刷,该研磨刷(4),其多个离开间隔的突起部(4b)和固定突起部(4b)的支承部(4a)由具有挠性的相同的材料一体地形成,进而突起部(4b)的侧面具有多个开孔,开孔率是10~70%。另外,突起部的高度(h)和该突起部的基部的在截面形状中的外接圆的半径(r)之比(h/r)是1.0~5.0的范围。由此,在研磨被研磨物(1)时,突起部的侧面能与被研磨物(1)压接,由保持在形成于突起部的侧面上的开孔中的料浆进行研磨。没有突起部(4b)的脱落,另外,能在突起部(4b)的侧面中良好地保持料浆地进行研磨。
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公开(公告)号:CN107000173A
公开(公告)日:2017-08-01
申请号:CN201580006144.0
申请日:2015-07-27
Applicant: 富士纺控股株式会社
Abstract: 一种研磨刷,该研磨刷(4),其多个离开间隔的突起部(4b)和固定突起部(4b)的支承部(4a)由具有挠性的相同的材料一体地形成,进而突起部(4b)的侧面具有多个开孔,开孔率是10~70%。另外,突起部的高度(h)和该突起部的基部的在截面形状中的外接圆的半径(r)之比(h/r)是1.0~5.0的范围。由此,在研磨被研磨物(1)时,突起部的侧面能与被研磨物(1)压接,由保持在形成于突起部的侧面上的开孔中的料浆进行研磨。没有突起部(4b)的脱落,另外,能在突起部(4b)的侧面中良好地保持料浆地进行研磨。
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公开(公告)号:CN111051002A
公开(公告)日:2020-04-21
申请号:CN201880057479.9
申请日:2018-10-09
Applicant: 富士纺控股株式会社
IPC: B24B37/30 , H01L21/304
Abstract: 保持垫,其为具备树脂片材的保持垫,所述树脂片材具有用于保持被研磨物的保持面,其中,下述式(1)表示的、乙醇向上述保持面的渗透速度为1.0~2.0度/秒。渗透速度=(C0-C20)/20···(1)C0:刚向上述保持面滴加乙醇后的、上述乙醇与上述保持面的接触角,C20:从滴加上述乙醇起20秒后的、上述乙醇与上述保持面的上述接触角。
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公开(公告)号:CN111051002B
公开(公告)日:2021-10-26
申请号:CN201880057479.9
申请日:2018-10-09
Applicant: 富士纺控股株式会社
IPC: B24B37/30 , H01L21/304
Abstract: 保持垫,其为具备树脂片材的保持垫,所述树脂片材具有用于保持被研磨物的保持面,其中,下述式(1)表示的、乙醇向上述保持面的渗透速度为1.0~2.0度/秒。渗透速度=(C0‑C20)/20···(1)C0:刚向上述保持面滴加乙醇后的、上述乙醇与上述保持面的接触角,C20:从滴加上述乙醇起20秒后的、上述乙醇与上述保持面的上述接触角。
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