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公开(公告)号：CN119630263A
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN202411190695.4
申请日：2024-08-28
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: H10N30/853 , H10N30/50 , H10N30/87
Abstract: 本发明提供一种压电层叠体及压电元件，具有比以往更高的耐电压及可靠性。压电层叠体及压电元件在基板上依次具备下部电极层和以钙钛矿型氧化物为主成分的压电膜，在压电膜上形成上部电极层并扫描施加于上部电极层与下部电极层之间的电压时且在使下部电极层接地，将上部电极层作为驱动电极，使对压电膜的施加电压从0V向正侧逐渐上升之后，从正侧经过0V向负侧逐渐下降时获得的表示电流变化相对于电压变化的电流‑电压曲线中，电压上升时的峰数与电压下降时的峰数不同。
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公开(公告)号：CN117084003A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202280024500.1
申请日：2022-03-10
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: H10N30/853
Abstract: 在压电元件(1)及压电元件的制造方法中，在不降低压电特性的情况下实现高耐压及驱动稳定性。一种压电元件，其在基板(11)上依次具备下部电极层(12)、以钙钛矿型氧化物为主成分的压电膜(15)及上部电极层(18)，其中，上部电极层包含氧化物导电层，在压电膜与氧化物导电层(18a)之间，具备包含氧化物导电层的构成元素和OH基的界面层(16)，界面层具有非晶态结构且厚度为1nm以上且5nm以下，在通过X射线光电子能谱测定而获得的界面层中的结合能的强度分布中，将源自与金属键合的氧的1s轨道的结合能的峰值强度设为α，将源自构成OH基的氧的1s轨道的结合能的峰值强度设为γ时的峰值强度比γ/α为0.35以上。
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公开(公告)号：CN110418855B
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN201880018079.7
申请日：2018-02-01
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种有效地制造包含透明且为极薄膜的银合金层的透明光学膜的透明光学膜的制造方法及使用了透明光学膜的制造方法的透明多层膜的制造方法。具有以下工序：成膜工序，包含将厚度为6nm以下的银层通过真空蒸镀进行成膜的银蒸镀工序、及将由标准电极电位大于银的高标准电极电位金属构成的高标准电极电位金属层通过真空蒸镀进行成膜的高标准电极电位金属蒸镀工序，并且在基材上至少将银层和高标准电极电位金属层进行层叠成膜；以及合金化工序，通过在50℃以上且400℃以下的温度下进行加热处理，在银层中使高标准电极电位金属扩散来形成银合金层。
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公开(公告)号：CN110418855A
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201880018079.7
申请日：2018-02-01
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种有效地制造包含透明且为极薄膜的银合金层的透明光学膜的透明光学膜的制造方法及使用了透明光学膜的制造方法的透明多层膜的制造方法。具有以下工序：成膜工序，包含将厚度为6nm以下的银层通过真空蒸镀进行成膜的银蒸镀工序、及将由标准电极电位大于银的高标准电极电位金属构成的高标准电极电位金属层通过真空蒸镀进行成膜的高标准电极电位金属蒸镀工序，并且在基材上至少将银层和高标准电极电位金属层进行层叠成膜；以及合金化工序，通过在50℃以上且400℃以下的温度下进行加热处理，在银层中使高标准电极电位金属扩散来形成银合金层。
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公开(公告)号：CN117812987A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202311167320.1
申请日：2023-09-11
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明的课题为以低成本提供在低电压下获得高的压电性能的压电元件及压电致动器。压电元件在基板上依次具备第1电极、第1压电膜、第2电极、第2压电膜及第3电极，第1压电膜及第2压电膜均以在A位包含Pb且在B位包含Zr、Ti及M的钙钛矿型氧化物作为主成分，M为选自V、Nb、Ta、Sb、Mo及W中的金属元素，第1压电膜中的M组成比与第2压电膜中的M组成比不同，使第1电极与第1压电膜接地且将第2电极作为驱动电极而测定的极化‑电场滞后和使第2电极与第2压电膜接地且将第3电极作为驱动电极而测定的极化‑电场滞后相对于各自的原点向相同的电场方向偏移。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116235650A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202180065894.0
申请日：2021-06-11
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor： 中村诚吾
IPC: H10N30/853 , H10N30/87
Abstract: 本发明提供一种带压电膜基板及压电元件，该带压电膜基板在基板上依次具备下部电极层及压电膜，其中，在将B设为钙钛矿型结构中的B位元素的情况下，压电膜包含：第1区域，包含由下述通式PbδBO3，1≤δ≤1.5表示的钙钛矿型氧化物；及第2区域，包含由与第1区域相同的元素构成的由下述通式PbαBO3，δ/3≤α＜δ表示的氧化物，第2区域设置于压电膜的与下部电极层相反的一侧的最表层。
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公开(公告)号：CN115884658A
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202211009262.5
申请日：2022-08-22
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: H10N30/87 , H10N30/853 , H10N30/50
Abstract: 本申请涉及压电层叠体及压电元件。本发明的目的在于提供一种与以往相比无需降低压电特性便可提高长期可靠性的压电层叠体及压电元件。压电层叠体及压电元件在基板上依次具备下部电极层、及包含钙钛矿型氧化物的压电膜。下部电极层包括：第2层，以与压电膜相接的状态配置；及第1层，比第2层更靠基板侧配置，第1层包含W、Mo、Nb及Ta中的一种以上作为主成分，第2层以Ir为主成分且第2层的厚度为50nm以下。
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公开(公告)号：CN111656226B
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN201880087849.3
申请日：2018-11-29
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种具备平坦的超薄膜的含银金属层的光学薄膜及其制造方法、以及具备光学薄膜的光学元件、及具备其光学元件的光学系统。一种光学薄膜，其设置在基材上，所述光学薄膜中，从基材侧起依次具备中间层、含有银的含银金属层及电介质层，含银金属层的中间层侧的界面区域具备包含锚金属的氧化物的锚区域，含银金属层的电介质层侧的界面区域具备包含锚金属的氧化物的罩体区域，包含锚区域及罩体区域的含银金属层的膜厚为6nm以下，含银金属层含有标准电极电位高于银的金属即高标准电极电位金属，并且，在含银金属层的膜厚方向上，高标准电极电位金属的浓度分布的峰值位置比银的浓度分布的峰值位置更靠中间层侧。
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公开(公告)号：CN111656226A
公开(公告)日：2020-09-11
申请号：CN201880087849.3
申请日：2018-11-29
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种具备平坦的超薄膜的含银金属层的光学薄膜及其制造方法、以及具备光学薄膜的光学元件、及具备其光学元件的光学系统。一种光学薄膜，其设置在基材上，所述光学薄膜中，从基材侧起依次具备中间层、含有银的含银金属层及电介质层，含银金属层的中间层侧的界面区域具备包含锚金属的氧化物的锚区域，含银金属层的电介质层侧的界面区域具备包含锚金属的氧化物的罩体区域，包含锚区域及罩体区域的含银金属层的膜厚为6nm以下，含银金属层含有标准电极电位高于银的金属即高标准电极电位金属，并且，在含银金属层的膜厚方向上，高标准电极电位金属的浓度分布的峰值位置比银的浓度分布的峰值位置更靠中间层侧。
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公开(公告)号：CN111095037A
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201880059995.5
申请日：2018-08-17
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种耐久性高的防反射膜、具备防反射膜的光学元件及具备该光学元件的光学系统。在所述防反射膜中，从基材侧起，依次层叠有中间层、含有银的含银金属层及电介质层，中间层为具有相对高的折射率的高折射率层与具有相对低的折射率的低折射率层交替层叠的2层以上的多层膜，电介质层具有露出于空气的表面，电介质层为包含含硅的氧化物层、氟化镁层、设置于含硅的氧化物层及氟化镁层之间且提高含硅的氧化物层与氟化镁层的密合性的密合层的多层膜。
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