压电元件
    3.
    发明公开
    压电元件 审中-实审

    公开(公告)号:CN113950751A

    公开(公告)日:2022-01-18

    申请号:CN202080042855.4

    申请日:2020-04-28

    Abstract: 本发明得到一种可低成本制作的、具备包含含有Pb的单相的钙钛矿型氧化物的压电体层的压电元件。压电元件在基板上依次具备下部电极层、生长控制层、以含有铅的钙钛矿型氧化物为主成分的压电体层、以及上部电极层,生长控制层包含由MdN1‑dOe表示的金属氧化物。在此,M由可置换钙钛矿型氧化物的A位的一种以上的金属元素构成,0<d<1,将电负性设为X时,1.41X‑1.05≤d≤A1·exp(‑X/t1)+y0,A1=1.68×1012,t1=0.0306,y0=0.59958。

    压电元件
    5.
    发明公开
    压电元件 审中-实审

    公开(公告)号:CN113966552A

    公开(公告)日:2022-01-21

    申请号:CN202080042854.X

    申请日:2020-05-20

    Abstract: 本发明提供一种具备包括含有Pb的钙钛矿型氧化物的压电体层的、即使在高湿环境下驱动可靠性也高的压电元件。压电元件在基板上依次具备下部电极层、生长控制层、包含含有铅作为A位的主成分的钙钛矿型氧化物而构成的压电体层、以及上部电极层。生长控制层包含由MdN1‑dOe表示的金属氧化物,M是可置换钙钛矿型氧化物的A位的一种以上的金属元素。将M的电负性设为X时,1.41X‑1.05≤d≤A1·exp(‑X/t1)+y0,A1=1.68×1012,t1=0.0306,y0=0.59958,钙钛矿型氧化物用(Pba1αa2)(Zrb1Tib2βb3)Oc表示,0.5<a1/(b1+b2+b3)<1.07。

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