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公开(公告)号：CN102043335A
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：CN201010511721.0
申请日：2010-10-15
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/00 , H01L27/32 , G02F1/1335
Abstract: 本发明提供一种保存稳定性、感度和显影边界(显影宽容度)优异的感光性树脂组合物，利用该组合物能够获得透明性和耐溶剂性优异的固化膜。所述感光性树脂组合物的特征在于，其含有(A)共聚物、(B)光产酸剂以及(C)溶剂，所述(A)共聚物含有：具有酚性羟基的单体单元(1)，具有羧基被酸分解性基团保护而成的残基的单体单元、或具有酚性羟基被酸分解性基团保护而成的残基的单体单元(2)，和具有3元环和/或4元环的环状醚残基的单体单元(3)。
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公开(公告)号：CN102043335B
公开(公告)日：2014-04-02
申请号：CN201010511721.0
申请日：2010-10-15
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/00 , H01L27/32 , G02F1/1335
Abstract: 本发明提供一种保存稳定性、感度和显影边界(显影宽容度)优异的感光性树脂组合物，利用该组合物能够获得透明性和耐溶剂性优异的固化膜。所述感光性树脂组合物的特征在于，其含有(A)共聚物、(B)光产酸剂以及(C)溶剂，所述(A)共聚物含有：具有酚性羟基的单体单元(1)，具有羧基被酸分解性基团保护而成的残基的单体单元、或具有酚性羟基被酸分解性基团保护而成的残基的单体单元(2)，和具有3元环和/或4元环的环状醚残基的单体单元(3)。
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公开(公告)号：CN102043334A
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：CN201010511720.6
申请日：2010-10-15
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/00 , G02F1/1333 , H01L27/32
Abstract: 本发明提供一种保存稳定性、感度和溶剂除去工序的宽容度优异的感光性树脂组合物，利用该组合物能够获得透明性和耐溶剂性优异的固化膜。另外，本发明还提供可靠性和生产率高的有机EL显示装置以及液晶显示装置，它们具备利用上述感光性树脂组合物形成的固化膜作为层间绝缘膜。所述感光性树脂组合物的特征在于，其含有(A)共聚物、(B)光产酸剂以及(C)溶剂，所述(A)共聚物含有：具有羧基被酸分解性基团保护而成的残基的单体单元(1)，具有酚性羟基被酸分解性基团保护而成的残基的单体单元(2)，和具有3元环和/或4元环的环状醚残基的单体单元(3)。
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公开(公告)号：CN102043334B
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：CN201010511720.6
申请日：2010-10-15
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/00 , G02F1/1333 , H01L27/32
Abstract: 本发明提供一种保存稳定性、感度和溶剂除去工序的宽容度优异的感光性树脂组合物，利用该组合物能够获得透明性和耐溶剂性优异的固化膜。另外，本发明还提供可靠性和生产率高的有机EL显示装置以及液晶显示装置，它们具备利用上述感光性树脂组合物形成的固化膜作为层间绝缘膜。所述感光性树脂组合物的特征在于，其含有(A)共聚物、(B)光产酸剂以及(C)溶剂，所述(A)共聚物含有：具有羧基被酸分解性基团保护而成的残基的单体单元(1)，具有酚性羟基被酸分解性基团保护而成的残基的单体单元(2)，和具有3元环和/或4元环的环状醚残基的单体单元(3)。
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公开(公告)号：CN102043333B
公开(公告)日：2014-02-26
申请号：CN201010511719.3
申请日：2010-10-15
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/00 , H01L27/32 , G02F1/1335
Abstract: 本发明提供一种能够获得耐溶剂性和耐热透明性优异的固化膜，并且在具有高感度的同时，图案形状随着曝光量的变化而发生的变化小的感光性树脂组合物，固化膜及其制造方法，有机EL显示装置以及液晶显示装置。所述感光性树脂组合物的特征在于，其含有(A)聚合物、(B)光产酸剂以及(C)溶剂，所述(A)聚合物含有：具有在酸的作用下产生羧基的式(Ia)表示的结构或者在酸的作用下产生酚性羟基的式(Ib)表示的结构的单体单元(a1)、具有在酸的作用下产生羧基的式(IIa)表示的结构或者在酸的作用下产生酚性羟基的式(IIb)表示的结构的单体单元(a2)、以及具有环氧基和/或氧杂环丁烷基的单体单元(a3)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101105625A
公开(公告)日：2008-01-16
申请号：CN200710128423.1
申请日：2007-07-10
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种光固化性、密合性、脱模性、残膜性、图案形状、涂敷性(I)、涂敷性(II)、蚀刻适性都优良的组合物。根据本发明的光固化性组合物，包含(a)聚合性化合物、(b)0.1～15质量％的光聚合引发剂及/或光酸产生剂、(c)至少一种0.001～5质量％的含氟表面活性剂、硅氧烷类表面活性剂及含氟·硅氧烷类表面活性剂，并且(d)该组合物在25℃下黏度为3～18mPa·s，其中，前述(a)聚合性化合物含有(e)皮肤原发刺激指数(PII值)为4.0以下的聚合性不饱和单体、及(f)在25℃下黏度为30mPa·s以下的聚合性不饱和单体，这些聚合性不饱和单体的含量为50质量％以上(其中，前述(e)的聚合性不饱和单体和前述(f)的聚合性不饱和单体，可以是部分相同或全部相同的聚合性不饱和单体)。
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公开(公告)号：CN101154042B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN200710152545.4
申请日：2007-09-27
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种光固化性、密合性、脱模性、残膜性、图案形状、涂敷性(I)、涂敷性(II)及蚀刻适性综合起来都优良的组合物。本发明采用一种纳米压印光刻用固化性组合物，其特征是，含有88～99质量％的聚合性不饱和单体、0.1～11质量％的光聚合引发剂和至少一种0.001～5质量％的含氟表面活性剂、硅氧烷类表面活性剂及含氟·硅氧烷类表面活性剂，在所述聚合性不饱和单体中含有大于等于10质量％的一种1官能团聚合性不饱和单体，其中所述1官能团聚合性不饱和单体的分子内具有含有烯属不饱和键的部位和含有至少一种杂原子的部位。
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公开(公告)号：CN101105625B
公开(公告)日：2011-11-09
申请号：CN200710128423.1
申请日：2007-07-10
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种光固化性、密合性、脱模性、残膜性、图案形状、涂敷性(I)、涂敷性(II)、蚀刻适性都优良的组合物。根据本发明的光固化性组合物，包含(a)聚合性化合物、(b)0.1～15质量％的光聚合引发剂及/或光酸产生剂、(c)至少一种0.001～5质量％的含氟表面活性剂、硅氧烷类表面活性剂及含氟·硅氧烷类表面活性剂，并且(d)该组合物在25℃下黏度为3～18mPa·s，其中，前述(a)聚合性化合物含有(e)皮肤原发刺激指数(PII值)为4.0以下的聚合性不饱和单体、及(f)在25℃下黏度为30mPa·s以下的聚合性不饱和单体，这些聚合性不饱和单体的含量为50质量％以上(其中，前述(e)的聚合性不饱和单体和前述(f)的聚合性不饱和单体，可以是部分相同或全部相同的聚合性不饱和单体)。
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公开(公告)号：CN102043333A
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：CN201010511719.3
申请日：2010-10-15
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/00 , H01L27/32 , G02F1/1335
Abstract: 本发明提供一种能够获得耐溶剂性和耐热透明性优异的固化膜，并且在具有高感度的同时，图案形状随着曝光量的变化而发生的变化小的感光性树脂组合物，固化膜及其制造方法，有机EL显示装置以及液晶显示装置。所述感光性树脂组合物的特征在于，其含有(A)聚合物、(B)光产酸剂以及(C)溶剂，所述(A)聚合物含有：具有在酸的作用下产生羧基的式(Ia)表示的结构或者在酸的作用下产生酚性羟基的式(Ib)表示的结构的单体单元(a1)、具有在酸的作用下产生羧基的式(IIa)表示的结构或者在酸的作用下产生酚性羟基的式(IIb)表示的结构的单体单元(a2)、以及具有环氧基和/或氧杂环丁烷基的单体单元(a3)。
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公开(公告)号：CN101154042A
公开(公告)日：2008-04-02
申请号：CN200710152545.4
申请日：2007-09-27
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种光固化性、密合性、脱模性、残膜性、图案形状、涂敷性(I)、涂敷性(II)及蚀刻适性综合起来都优良的组合物。本发明采用一种纳米压印光刻用固化性组合物，其特征是，含有88～99质量％的聚合性不饱和单体、0.1～11质量％的光聚合引发剂和至少一种0.001～5质量％的含氟表面活性剂、硅氧烷类表面活性剂及含氟·硅氧烷类表面活性剂，在所述聚合性不饱和单体中含有大于等于10质量％的一种1官能团聚合性不饱和单体，其中所述1官能团聚合性不饱和单体的分子内具有含有烯属不饱和键的部位和含有至少一种杂原子的部位。
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