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公开(公告)号：CN114930250A
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202180007980.6
申请日：2021-02-01
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor： 石坂壮二
Abstract: 本发明提供一种树脂图案的制造方法、电路配线的制造方法、触摸面板的制造方法及感光性转印部件，该树脂图案的制造方法使用具有临时支承体及感光性树脂层的感光性转印部件在基板上形成树脂图案，其中，与上述基板接触的部分的上述树脂图案的图案宽度比上述树脂图案的最大高度的90％的位置处的图案宽度大0.2μm以上，该感光性转印部件具有临时支承体及感光性树脂层，其中，在基板上形成了最大高度的90％的位置处的图案宽度为6μm的树脂图案A的情况下，在上述树脂图案A的宽度方向上的截面中，与上述基板接触的部分的上述树脂图案A的图案宽度为6.2μm以上。
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公开(公告)号：CN109154774B
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN201780030945.X
申请日：2017-05-18
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种含有重均分子量4000～25000的粘合剂、相对于组合物的总固体成分量大于0质量％且小于9质量％的聚合引发剂、聚合性单体及颜料的感光性树脂组合物、转印膜、装饰图案、触摸面板以及图案的制造方法。
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公开(公告)号：CN112136081A
公开(公告)日：2020-12-25
申请号：CN201980033557.6
申请日：2019-05-16
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种感光性转印材料及其应用，该感光性转印材料具有：临时支承体；及感光性树脂层，其含有聚合物、光产酸剂及苯并三唑化合物，所述聚合物包含具有酸基被酸分解性基团保护的基团的结构单元，且玻璃化转变温度为90℃以下。
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公开(公告)号：CN112136081B
公开(公告)日：2024-11-19
申请号：CN201980033557.6
申请日：2019-05-16
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种感光性转印材料及其应用，该感光性转印材料具有：临时支承体；及感光性树脂层，其含有聚合物、光产酸剂及苯并三唑化合物，所述聚合物包含具有酸基被酸分解性基团保护的基团的结构单元，且玻璃化转变温度为90℃以下。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116981997A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202280016376.4
申请日：2022-02-22
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004
Abstract: 本发明的课题在于提供一种能够制作具有形状性优异的导体图案的层叠体的、具有导体图案的层叠体的制造方法。本发明的具有导体图案的层叠体的制造方法具有：贴合工序，对于依次具有临时支承体、中间层及感光性层的转印膜，以上述感光性层侧与在表面具有金属层的基板的上述金属层接触的方式贴合上述转印膜与上述基板；曝光工序，从与具有上述基板的一侧相反的一侧图案曝光上述感光性层；显影工序，使用碱性显影液对经曝光的上述感光性层实施显影处理，形成抗蚀剂图案；对位于未配置上述抗蚀剂图案的区域的上述金属层进行蚀刻处理的蚀刻处理工序或进行镀覆处理的镀覆处理工序；抗蚀剂剥离工序，剥离上述抗蚀剂图案；及去除工序，在还具有上述镀覆处理工序的情况下，通过上述抗蚀剂剥离工序去除露出的上述金属层，在上述基板上形成导体图案，在上述贴合工序与上述曝光工序之间或上述曝光工序与上述显影工序之间还具有剥离上述临时支承体的临时支承体剥离工序，上述感光性层含有交联性碱溶性树脂、烯属不饱和化合物及光聚合引发剂。
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公开(公告)号：CN116360208A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202211637248.X
申请日：2022-12-14
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor： 石坂壮二
Abstract: 本发明的课题在于提供一种分辨性优异的蒸镀掩模制造用感光性转印材料且提供一种分辨性优异的蒸镀掩模的制造方法。一种蒸镀掩模制造用感光性转印材料及使用上述蒸镀掩模制造用感光性转印材料的蒸镀掩模的制造方法，该蒸镀掩模制造用感光性转印材料依次具有临时支承体和至少具有感光性树脂层的转印层，上述临时支承体的每单位体积中的直径1.0μm～10.0μm的异物的个数为50个/mm3以下。
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公开(公告)号：CN116157740A
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202180059636.1
申请日：2021-06-28
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004
Abstract: 一种金属图案的形成方法及具有利用上述金属图案的形成方法而获得的金属图案的蒸镀用金属掩模的制造方法，该金属图案的形成方法包括：准备在基材上具有负型感光性树脂层的层叠体的工序；从上述负型感光性树脂层中的设置有上述基材的一侧的相反一侧照射具有向曝光掩模的厚度方向倾斜地入射的成分的光，隔着上述曝光掩模将上述负型感光性树脂层进行图案曝光的工序；对经上述图案曝光的上述负型感光性树脂层进行显影而形成具有锥形形状的树脂图案的工序；以及形成与上述树脂图案的形状对应的锥形形状的金属图案的工序。
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公开(公告)号：CN115668061A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202180036339.5
申请日：2021-05-21
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/20 , G03F7/027 , G03F7/004 , G03F7/028 , G03F7/095 , G03F7/11 , G03F7/40 , H01L21/027 , H05K3/00 , H05K3/06 , H05K3/28 , G06F3/041
Abstract: 本发明提供一种图案形成方法、层叠体及这些的应用，上述图案形成方法包括：准备依次具备第一感光层、具有相对于曝光波长透明的区域的基板以及第二感光层的层叠体的工序；对上述第一感光层进行曝光的工序；对上述第二感光层进行曝光的工序；对经曝光的上述第一感光层进行显影而形成第一树脂图案的工序；及对经曝光的上述第二感光层进行显影而形成第二树脂图案的工序，对上述第一感光层进行曝光的工序中的曝光波长的主波长λ1及对上述第二感光层进行曝光的工序中的曝光波长的主波长λ2满足λ1≠λ2的关系。
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公开(公告)号：CN109154775A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201780031529.1
申请日：2017-05-26
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物、转印膜、图案的制造方法、装饰图案及触摸面板，本发明的感光性树脂组合物含有I/O值为0.5以上且重均分子量为25000以下的粘合剂、颜料、聚合性单体及聚合引发剂，并且相对于感光性树脂组合物的总固体成分量，颜料的含量为20质量％以上，本发明的转印膜具备包含上述感光性树脂组合物的固体成分的感光性树脂层，本发明的图案的制造方法中使用了上述感光性树脂组合物或上述转印膜，本发明的装饰图案中使用了上述感光性树脂组合物或上述转印膜，本发明的触摸面板具备上述装饰图案。
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