清洗方法,清洗设备及经清洗的基材

    公开(公告)号:CN112410797A

    公开(公告)日:2021-02-26

    申请号:CN201910767736.4

    申请日:2019-08-20

    Abstract: 本申请提出了一种清洗方法,包括:采用第一清洗液对基材进行清洗,第一清洗液包括水,碱性物质,助溶剂和第一表面活性剂;采用第二清洗液对基材进行清洗,第二清洗液包括水,酸性物质,螯合剂和第二表面活性剂。本申请还提出了一种清洗设备,包括第一清洗装置;第二清洗装置;和用于输送基材至第一清洗装置及第二清洗装置的运送装置;第一清洗装置采用第一清洗液清洗基材,第二清洗装置采用第二清洗液清洗基材。本申请还提出了一种基材,经清洗基材的表面含有油污的面积小于1mm2。本申请还提出了一种基材,经清洗基材的表面含有金属离子的浓度低于1000ppm。该清洗方法能有效去除基材表面的水印、脏污、油污。

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