公开(公告)号：CN118574689A

公开(公告)日：2024-08-30

申请号：CN202380015899.1

申请日：2023-01-20

Applicant: 尼康SLM方案股份公司

Inventor： 菲利普·罗泽

IPC: B22F10/28 ,  B22F10/31 ,  B22F10/366 ,  B22F12/90 ,  B33Y10/00 ,  B33Y30/00 ,  B33Y50/02 ,  B22F10/85 ,  B22F12/49 ,  B29C64/153 ,  B29C64/268 ,  B29C64/393 ,  B22F12/45

Abstract: 描述了一种用于校准辐照系统(10)的方法，该辐照系统使用于生产三维工件的设备(100)中。该方法包括步骤i)：将校准平面(30)与辐照系统(10)的光学单元(16)之间的、在垂直于校准平面(30)的z方向上的距离设置为第一距离(z1)。在步骤ii)中，在将校准平面(30)与光学单元(16)之间的距离保持在第一距离(z1)的同时，在光学单元(16)的扫描镜(22)布置在第一角度基本位置的情况下，在校准平面(30)内的第一x‑y区域(a1)中辐照第一校准图案(p1,1)。在光学单元(16)的扫描镜(22)布置在第二角度基本位置的情况下，在校准平面(30)内的第二x‑y区域(a2)中辐照第二校准图案(p2,1)；处于第二角度基本位置的扫描镜(22)相对于第一角度基本位置至少枢转±1°。在步骤iii)中，将校准平面(30)与光学单元(16)之间的、在z方向上的距离设置为第二距离(z2)，且第二距离与第一距离(z1)不同。在步骤iv)中，在将校准平面(30)与光学单元(16)之间的距离保持在第二距离(z2)的同时，在光学单元(16)的扫描镜(22)布置在第一角度基本位置的情况下，在第一x‑y区域(a1)中辐照第三校准图案(p1,2)；在光学单元(16)的扫描镜(22)布置在第二角度基本位置的情况下，在第二x‑y区域(a2)中辐照第四校准图案(p2,2)。在步骤v)中，对第一校准图案、第二校准图案、第三校准图案以及第四校准图案(p1,1、p2,1、p1,2、p2,2)进行评估，以根据校准平面(30)内的x‑y位置来确定辐射束(14)在z方向上的焦点位置。在步骤vi)中，基于辐射束(14)的所确定的焦点位置对辐照系统(10)进行校准。