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公开(公告)号：CN102829004B
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201210324787.8
申请日：2012-09-05
Applicant: 常州大成绿色镀膜科技有限公司 , 兰州交大国家绿色镀膜工程中心有限责任公司 , 兰州大成科技股份有限公司
IPC: F04F9/08
Abstract: 本发明涉及一种防爆油扩散泵真空系统及其防爆控制方法，包括油扩散泵系统，油扩散泵系统具有油扩散泵，油扩散泵的抽气口与真空室的出气口通过管路连通，还包括控制系统，控制系统包括设置在油扩散泵的前级排气口管路上的压力检测装置、设置在油扩散泵内的实时检测油温的测温装置和测量真空室内压力的测压装置，控制系统设有临界压力Pq和防爆压力Pfb，控制系统通过采集压力检测装置、测温装置和测压装置测得的实时数据控制油扩散泵系统中各泵组和阀组的启闭。本发明通过控制系统实时监控油扩散泵的油温、前级压力和真空室压力，并与设定的临界压力和防爆压力进行比较，若检测到危险做出相应的处理，避免油扩散泵发生爆炸。
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公开(公告)号：CN102829004A
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201210324787.8
申请日：2012-09-05
Applicant: 常州大成绿色镀膜科技有限公司 , 兰州交大国家绿色镀膜工程中心有限责任公司 , 兰州大成科技股份有限公司
IPC: F04F9/08
Abstract: 本发明涉及一种防爆油扩散泵真空系统及其防爆控制方法，包括油扩散泵系统，油扩散泵系统具有油扩散泵，油扩散泵的抽气口与真空室的出气口通过管路连通，还包括控制系统，控制系统包括设置在油扩散泵的前级排气口管路上的压力检测装置、设置在油扩散泵内的实时检测油温的测温装置和测量真空室内压力的测压装置，控制系统设有临界压力Pq和防爆压力Pfb，控制系统通过采集压力检测装置、测温装置和测压装置测得的实时数据控制油扩散泵系统中各泵组和阀组的启闭。本发明通过控制系统实时监控油扩散泵的油温、前级压力和真空室压力，并与设定的临界压力和防爆压力进行比较，若检测到危险做出相应的处理，避免油扩散泵发生爆炸。
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公开(公告)号：CN102828160A
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201210323947.7
申请日：2012-09-05
Applicant: 常州大成绿色镀膜科技有限公司 , 兰州交大国家绿色镀膜工程中心有限责任公司 , 兰州大成科技股份有限公司
IPC: C23C14/56
Abstract: 本发明公开了一种真空专用大功率交流高压绝缘接入装置,包括真空室外大气侧的电源接入口和真空室内侧的电压导出端，电源接入口外设有防护罩，电压导出端的端口设有高压触头，整个装置通过电极座固定在真空室壳体上，其特征在于，所述的电压导出端为3级绝缘防护结构，所述的高压触头底部设有弹性缓冲防撞结构。本方案的电压导出端为3级绝缘防护结构，隔套的材质为聚四氟乙烯，且高压触头底部设有弹性缓冲防撞结构，该方案绝缘性能好，结构简单，且不易破损。完全满足工艺需要，有力减少了设备故障率，提高工艺可靠性和稳定性。
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公开(公告)号：CN202865331U
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201220448042.8
申请日：2012-09-05
Applicant: 常州大成绿色镀膜科技有限公司 , 兰州交大国家绿色镀膜工程中心有限责任公司 , 兰州大成科技股份有限公司
IPC: C23C14/56
Abstract: 本实用新型公开了一种真空专用大功率交流高压绝缘接入装置，包括真空室外大气侧的电源接入口和真空室内侧的电压导出端，电源接入口外设有防护罩，电压导出端的端口设有高压触头，整个装置通过电极座固定在真空室壳体上，其特征在于，所述的电压导出端为3级绝缘防护结构，所述的高压触头底部设有弹性缓冲防撞结构。本方案的电压导出端为3级绝缘防护结构，隔套的材质为聚四氟乙烯，且高压触头底部设有弹性缓冲防撞结构，该方案绝缘性能好，结构简单，且不易破损。完全满足工艺需要，有力减少了设备故障率，提高工艺可靠性和稳定性。
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