公开(公告)号：CN101887139A

公开(公告)日：2010-11-17

申请号：CN201010213716.1

申请日：2010-06-30

Applicant: 常州工程职业技术学院

Inventor： 唐惠东 ,  蒋恒蔚 ,  侯林燕 ,  鞠宇飞 ,  肖雪军 ,  徐开胜 ,  李龙珠 ,  孙媛媛 ,  刘文斌

IPC: G02B5/08 ,  G02B1/10 ,  C23C14/34 ,  C23C14/06

Abstract: 本发明涉及一种以反应烧结碳化硅和无压烧结碳化硅反射镜镜坯为衬底的反射镜，属于材料表面改性领域，一种碳化硅反射镜，具有碳化硅反射镜面，其特征在于：在碳化硅镜面表层涂覆有表面改性物质，所述的表面改性物质为SiaCbOcNd，其中a、b、c和d为正整数，a+b+c+d＝100，a为15～30，b为8～50，c为25～60，d为0～15，本发明抛光后其表面缺陷少，表面粗糙度RMS低，表面涂覆银反射膜后在可见光波段的反射率为92.0％-99.2％和90.0％-97.0％。采用此法制备SiaCbOcNd涂层时，沉积温度低，沉积速率快，制备周期短，效率高，成本较低；可大面积沉积，实用性强，非常有利于工业化生产。