一种耐高温高湿湿度传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN115201283A

    公开(公告)日:2022-10-18

    申请号:CN202210585553.2

    申请日:2022-05-27

    Abstract: 本申请公开了一种耐高温高湿湿度传感器,包括硅晶圆和湿敏膜;所述硅晶圆包括硅基底、形成在硅基底上的金属电极;所述湿敏膜形成在所述金属电极表面;所述湿敏膜采用反应体系中引入光敏基团和多官能度胺所得到的交联型聚酰胺酸薄膜。本申请还公开了一种耐高温高湿湿度传感器的制备方法。本申请所述的耐高温高湿湿度传感器采用含氟交联型聚酰亚胺薄膜作为湿敏膜,降低了湿敏膜的吸湿率和介电常数,赋予湿敏膜耐热、稳定、耐水解等性能;降低了湿度传感器的湿度偏差,提其高测量精准度。

    一种用于氧气传感器的金属氮化物膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN112858439B

    公开(公告)日:2022-05-31

    申请号:CN202011607797.3

    申请日:2020-12-30

    Abstract: 本发明涉及氧气传感器技术领域,提供一种用于氧气传感器的金属氮化物膜的制备方法,用于替代现有的贵金属催化剂,降低成本;本发明提供一种用于氧气传感器的金属氮化物膜的制备方法,包括基材前处理;将基材放置于工作腔体内,抽真空;对工作腔体进行加热,同时旋转基材;向工作腔体内通入氩气和氮气的混合气氛;在基材上先通过直流电源溅射核心靶材,再通过射频电源溅射掺杂靶材形成金属氮化物膜;所述核心靶材与掺杂靶材均选自锆、钛、钒、钽、钼中的一种或多种,且核心靶材与掺杂靶材所选的金属不同;本发明制备的用于氧气传感器的金属氮化物膜,均一性好,适用于工业量产;且本发明制备的用于氧气传感器的金属氮化物膜用于氧气传感器中作为电极材料使用时,具有较好的响应速度、线性度、一致性和稳定性。

    一种气体传感器
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN114577866B

    公开(公告)日:2024-09-06

    申请号:CN202210099898.7

    申请日:2022-01-27

    Abstract: 本发明公开了一种气体传感器,包括壳体,壳体的顶部设有通孔,用于允许外界气体通入;壳体内设有反应腔,反应腔的顶部设有入口组件,所述入口组件设于通孔的进气方向上,用于允许待测气体通过;所述反应腔内设有电解液以及与所述电解液接触的电极组件,所述壳体的内部与反应腔的外部之间设有一凹位,所述凹位内设置有补偿电阻。本发明通过在壳体的内部与反应腔的外部之间设置一独立的凹位,用于放置补偿电阻,既解决了传感器受温度变化而使输出的电信号误差大的问题,还可以使补偿电阻能更灵敏地感受传感器的温度变化,从而快速进行温度补偿。

    一种掺杂二氧化锡粉体的制备方法及通过该方法得到的掺杂二氧化锡粉体

    公开(公告)号:CN109704394B

    公开(公告)日:2022-08-09

    申请号:CN201910079129.9

    申请日:2019-01-28

    Inventor: 张宾 赵罗恒

    Abstract: 本发明公开了一种掺杂二氧化锡粉体的制备方法及通过该方法得到的掺杂二氧化锡粉体,制备方法包括:分散步骤:取二氧化锡粉体并溶于溶剂,并加入还原剂和可溶性金属盐,得到混合液;一次还原步骤:将混合液搅拌分散后,静置沉降至少12h,然后在温度为50‑80℃的条件下保温1‑3h,然后升温至180‑300℃保温1‑2h,再升温至550‑650℃保温3‑6h,降温后得到混合粉体;二次还原步骤:将混合粉体研磨,并在气体H2的条件下煅烧,得到掺杂二氧化锡粉体;该方法以二氧化锡为原料,解决了现有技术中以锡盐作为原料而带来反应过程的不稳定性,能够普遍适合掺杂多种类型金属,得到的掺杂二氧化锡粉体用途广泛。

    一种负离子发生装置
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN112736656B

    公开(公告)日:2022-05-31

    申请号:CN202011561152.0

    申请日:2020-12-25

    Abstract: 本发明涉及负离子技术领域,提供一种负离子发生装置,包括第一凹槽;陶瓷基板固定于所述第一凹槽内;所述陶瓷基板包括高压负离子涂料放电区、正高压负离子涂料接触电极、负高压负离子涂料接触电极;放电针,其连接所述负高压负离子涂料接触电极;第一弹簧,其连接所述正高压线,且其一端抵压正高压负离子涂料接触电极,另一端抵压所述第一凹槽底部;第二弹簧,其连接负高压线,且其一端抵压所述负高压负离子涂料接触电极,另一端抵压所述第一凹槽底部。本发明在第一凹槽内设置了第一弹簧和第二弹簧固定所述陶瓷基板使所述陶瓷基板不易发生位移,稳定产生负离子,并将所述第一弹簧和第二弹簧作为导电介质,连通所述陶瓷基板和高压线。

    一种电容式湿度传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN115201284A

    公开(公告)日:2022-10-18

    申请号:CN202210586087.X

    申请日:2022-05-27

    Abstract: 本发明公开一种电容式湿度传感器,包括硅晶圆和湿敏膜;所述硅晶圆包括硅基底、形成在硅基底上的钝化层以及形成在钝化层上的金属电极;所述湿敏膜形成在所述金属电极表面;所述湿敏膜为含氟聚酰亚胺薄膜,所述含氟聚酰亚胺薄膜由含氟聚酰胺酸亚胺化而成,所述含氟聚酰胺酸的重均分子量Mw为50000以上。本发明还公开了一种电容式湿度传感器的制备方法。本申请采用高分子量的含氟聚酰亚胺薄膜作为湿敏膜,由于氟原子具有将强的疏水性和低摩尔极化率,能有效降低湿敏膜的吸湿率和介电常数,改善产品的加工性能,从而达到减小湿度传感器的湿滞、降低湿度偏差的目的,提高湿度传感器的稳定性和测量精准。

    一种固态隔膜及其制备方法和设有其的气体传感器

    公开(公告)号:CN114594150A

    公开(公告)日:2022-06-07

    申请号:CN202210100182.4

    申请日:2022-01-27

    Abstract: 本发明涉及传感器及其部件的技术领域,公开了一种固态隔膜,包括衬底和贵金属层,所述贵金属层交替复合在衬底上,所述贵金属层包括至少两种由单一贵金属原子组成的贵金属原子层;所述贵金属原子层通过原子层层积技术沉积于衬底上,形成上、下层叠且紧密结合的贵金属层,相邻两个材质不同的贵金属原子层保持各自原有的贵金属特性。本发明通过原子层沉积技术实现贵金属催化层的形成,其制备的贵金属层结构厚度可控,不影响气体的透过率,且催化活性极高,响应速度快,同时贵金属层在衬底上的附着优良,能在长期高温环境和高浓度电解液下测试,且催化活性保持不变,大幅提高了传感器的使用稳定性,延长了使用寿命。

    一种可过滤气体的露点检测装置

    公开(公告)号:CN112858387B

    公开(公告)日:2023-05-09

    申请号:CN202011606608.0

    申请日:2020-12-30

    Abstract: 一种可过滤气体的露点检测装置,包括控制系统、结露系统、光电检测系统,所述结露系统、光电检测系统分别连接于所述控制系统,所述光电检测系统包括检测组件和检测盖体,所述检测盖体内设有检测腔,所述结露系统位于所述检测腔底部,所述检测组件位于所述检测腔顶部,所述检测盖体侧壁设有对应通孔,还包括气体过滤装置,所述气体过滤装置与所述通孔适应设置,或罩设于所述结露系统上方。本发明的露点检测装置可过滤检测气体中污染物,PTFE膜的过滤效果优异,降低镜面散射水平,防止镜面污染发生零点漂移,增加装置的使用寿命,并且气体过滤装置和结露系统结构的设计都节约空间,减小装置的体积,携带方便,使用激光可提高亮度节约能源。

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