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公开(公告)号：CN1650160A
公开(公告)日：2005-08-03
申请号：CN03809497.5
申请日：2003-03-14
Applicant: 应用材料以色列有限公司
IPC: G01N21/00
CPC classification number: G01N21/9501 , G01N21/8806 , G01N2021/8825 , G02B21/002 , G02B21/125
Abstract: 一种使用提供光束(151)的激光源(101)检测样品如半导体晶片(108)的系统。光束(151)施加于具有有源区的行移透镜声光器件(104)并响应RF输入信号在有源区中选择地产生多个行移透镜。行移透镜声光器件(104)可操作以接收光束(151)并在每个产生的行移透镜的焦点处产生多个浮动光点束。使用光检测单元(110)产生有用的扫描数据，其中所述光检测单元具有多个检测器区，每个检测器区具有多个光检测器和至少一个多级存储器件，该存储器件可操作以从多个光检测器并行接收输入。被储存在每个存储器件中的信息从多级被同时串行读出。
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公开(公告)号：CN100593113C
公开(公告)日：2010-03-03
申请号：CN03809497.5
申请日：2003-03-14
Applicant: 应用材料以色列有限公司
IPC: G01N21/00
CPC classification number: G01N21/9501 , G01N21/8806 , G01N2021/8825 , G02B21/002 , G02B21/125
Abstract: 一种使用提供光束(151)的激光源(101)检测样品如半导体晶片(108)的系统。光束(151)施加于具有有源区的行移透镜声光器件(104)并响应RF输入信号在有源区中选择地产生多个行移透镜。行移透镜声光器件(104)可操作以接收光束(151)并在每个产生的行移透镜的焦点处产生多个浮动光点束。使用光检测单元(110)产生有用的扫描数据，其中所述光检测单元具有多个检测器区，每个检测器区具有多个光检测器和至少一个多级存储器件，该存储器件可操作以从多个光检测器并行接收输入。被储存在每个存储器件中的信息从多级被同时串行读出。
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公开(公告)号：CN101738398B
公开(公告)日：2014-04-02
申请号：CN200910266307.5
申请日：2003-03-14
Applicant: 应用材料以色列有限公司
CPC classification number: G01N21/9501 , G01N21/8806 , G01N2021/8825 , G02B21/002 , G02B21/125
Abstract: 一种使用提供光束(151)的激光源(101)检测样品如半导体晶片(108)的系统。光束(151)施加于具有有源区的行移透镜声光器件(104)并响应RF输入信号在有源区中选择地产生多个行移透镜。行移透镜声光器件(104)可操作以接收光束(151)并在每个产生的行移透镜的焦点处产生多个浮动光点束。使用光检测单元(110)产生有用的扫描数据，其中所述光检测单元具有多个检测器区，每个检测器区具有多个光检测器和至少一个多级存储器件，该存储器件可操作以从多个光检测器并行接收输入。被储存在每个存储器件中的信息从多级被同时串行读出。
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公开(公告)号：CN101738398A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200910266307.5
申请日：2003-03-14
Applicant: 应用材料以色列有限公司
CPC classification number: G01N21/9501 , G01N21/8806 , G01N2021/8825 , G02B21/002 , G02B21/125
Abstract: 一种使用提供光束(151)的激光源(101)检测样品如半导体晶片(108)的系统。光束(151)施加于具有有源区的行移透镜声光器件(104)并响应RF输入信号在有源区中选择地产生多个行移透镜。行移透镜声光器件(104)可操作以接收光束(151)并在每个产生的行移透镜的焦点处产生多个浮动光点束。使用光检测单元(110)产生有用的扫描数据，其中所述光检测单元具有多个检测器区，每个检测器区具有多个光检测器和至少一个多级存储器件，该存储器件可操作以从多个光检测器并行接收输入。被储存在每个存储器件中的信息从多级被同时串行读出。
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