公开(公告)号：CN111886669B

公开(公告)日：2023-10-13

申请号：CN201980011182.3

申请日：2019-02-15

Applicant: 代尔夫特工业大学 ,  应用材料以色列有限公司

Inventor： P·克瑞特 ,  R·纳夫塔利

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28

Abstract: 一种用于检查样本的多束带电粒子柱，包括用于朝向样本指引多个初级带电粒子束的源、用于检测来自样本的信号带电粒子的检测器，以及布置在检测器和样本之间的组合的磁偏转单元和静电偏转单元。磁偏转单元(61)包括磁性或铁磁性材料的多个条(63)。每个条位于与所述轨迹之一相邻的磁偏转单元处的初级带电粒子束的轨迹(71)的节距相等的距离内。所述条被配置为建立基本上垂直于所述轨迹的磁场(B)。静电偏转单元(62)被配置为用于创建基本上垂直于磁场的静电场。磁偏转单元和静电偏转单元在平行于初级带电粒子束的轨迹的方向上间隔开。

公开(公告)号：CN1650160A

公开(公告)日：2005-08-03

申请号：CN03809497.5

申请日：2003-03-14

Applicant: 应用材料以色列有限公司

Inventor： H·费尔德曼 ,  E·叶利亚舍夫 ,  N·埃尔马利亚克 ,  R·纳夫塔利 ,  B·戈德堡 ,  S·赖因霍恩

IPC: G01N21/00

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/8806 ,  G01N2021/8825 ,  G02B21/002 ,  G02B21/125

Abstract: 一种使用提供光束(151)的激光源(101)检测样品如半导体晶片(108)的系统。光束(151)施加于具有有源区的行移透镜声光器件(104)并响应RF输入信号在有源区中选择地产生多个行移透镜。行移透镜声光器件(104)可操作以接收光束(151)并在每个产生的行移透镜的焦点处产生多个浮动光点束。使用光检测单元(110)产生有用的扫描数据，其中所述光检测单元具有多个检测器区，每个检测器区具有多个光检测器和至少一个多级存储器件，该存储器件可操作以从多个光检测器并行接收输入。被储存在每个存储器件中的信息从多级被同时串行读出。

公开(公告)号：CN1646894A

公开(公告)日：2005-07-27

申请号：CN03809048.1

申请日：2003-03-14

Applicant: 应用材料以色列有限公司

Inventor： R·纳夫塔利 ,  S·赖因霍恩

IPC: G01N21/00

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/8806 ,  G01N2021/8825 ,  G02B21/002 ,  G02B21/125

Abstract: 本发明提供一种用于样品如半导体晶片(108)的暗场检测的系统，该系统使用提供光束的激光光源(101)。该系统包括：提供光束的光源(101)；行移透镜声光器件(104)，它具有有源区和响应RF输入信号而在所述有源区中同时产生多个行移透镜，每个透镜具有焦点，所述行移透镜声光器件(104)可操作以接收光束和在每个所产生的行移透镜的各个焦点处产生多个斑点束，所述多个斑点束扫描所述样品的第一表面，由此产生相应的反射光束和透射光束中的至少之一的多个光束；而反射光束和透射光束的至少之一包括明场和暗场成分；和用于收集和检测暗场成分的暗场光学装置。

公开(公告)号：CN1628381A

公开(公告)日：2005-06-15

申请号：CN03803198.1

申请日：2003-01-27

Applicant: 应用材料以色列有限公司 ,  应用材料有限公司

Inventor： 班祖恩·森德尔 ,  奥菲尔·卓尔 ,  盖伊·艾坦

IPC: H01L21/66 ,  H01J37/28 ,  G01B15/04 ,  G01R31/305 ,  G01R31/265 ,  G01N23/22

CPC classification number: H01J37/28 ,  G01N23/22 ,  H01J2237/2817

Abstract: 一种用于扫描图形的设备和方法。本方法包括：(i)引导该带电粒子束，使之沿第一扫描路径与图形相互作用，和(ii)引导该带电粒子束，使之沿第二扫描路径与图形相互作用。图形作为与带电粒子束相互作用的结果，改变它的一种特性。第一与第二扫描路径之间的距离，可以大于带电电子束的直径。第一与第二扫描路径中的每一路径，可以包括许多相继的抽样，且第一与第二扫描路径之间的距离，可以大于相邻抽样之间的距离。扫描路径的位置，可以在测量中改变，并特别是在各测量期间之间改变。带电粒子束可以有椭圆形横截面。

公开(公告)号：CN1589490A

公开(公告)日：2005-03-02

申请号：CN02822954.1

申请日：2002-10-04

Applicant: 应用材料以色列有限公司

Inventor： 艾舍·珀尔

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/304 ,  H01J37/1471 ,  H01J37/263 ,  H01J2237/045 ,  H01J2237/1501 ,  H01J2237/1532 ,  H01J2237/216 ,  H01J2237/221

Abstract: 本发明提供了一种方法，用于自动对准带电颗粒束与孔。从而引入散焦并基于图象移动计算的信号施加到偏转单元。进而提供了用于散光校正的方法。从而在改变到象散校正装置的信号时，对于产生的一组帧估计清晰度。

公开(公告)号：CN101738398A

公开(公告)日：2010-06-16

申请号：CN200910266307.5

申请日：2003-03-14

Applicant: 应用材料以色列有限公司

Inventor： H·费尔德曼 ,  E·叶利亚舍夫 ,  N·埃尔马利亚克 ,  R·纳夫塔利 ,  B·戈德堡 ,  S·赖因霍恩

IPC: G01N21/89 ,  G01N21/95

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/8806 ,  G01N2021/8825 ,  G02B21/002 ,  G02B21/125

Abstract: 一种使用提供光束(151)的激光源(101)检测样品如半导体晶片(108)的系统。光束(151)施加于具有有源区的行移透镜声光器件(104)并响应RF输入信号在有源区中选择地产生多个行移透镜。行移透镜声光器件(104)可操作以接收光束(151)并在每个产生的行移透镜的焦点处产生多个浮动光点束。使用光检测单元(110)产生有用的扫描数据，其中所述光检测单元具有多个检测器区，每个检测器区具有多个光检测器和至少一个多级存储器件，该存储器件可操作以从多个光检测器并行接收输入。被储存在每个存储器件中的信息从多级被同时串行读出。

公开(公告)号：CN1628246A

公开(公告)日：2005-06-15

申请号：CN03803199.X

申请日：2003-02-04

Applicant: 应用材料有限公司 ,  应用材料以色列有限公司

Inventor： 亚历山大·凯蒂塞维奇 ,  艾维·西蒙

IPC: G01N23/225 ,  G01N23/227

CPC classification number: G01N23/227

Abstract: 一种分析在试样的表面上的底层之上形成的薄膜的设备，该薄膜包括第一元素，同时底层包括第二元素。该设备包括导向电子束以撞击到在其上形成了薄膜的试样表面上的点上的电子枪。电子检测器接收由第一和第二元素响应撞击的电子束而发射的俄歇电子并输出表示所发射的电子的能量分布的信号。控制器接收该信号并分析该能量的分布以确定在薄膜中第一元素的成分和薄膜的厚度。

公开(公告)号：CN1602537A

公开(公告)日：2005-03-30

申请号：CN02824633.0

申请日：2002-10-09

Applicant: 应用材料以色列有限公司

Inventor： 卓尔·舍密施 ,  杜彼·沙卡尔

IPC: H01J37/147

CPC classification number: H01J37/1471 ,  H01J37/153 ,  H01J37/22 ,  H01J37/263 ,  H01J37/265 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/045 ,  H01J2237/1501 ,  H01J2237/1532 ,  H01J2237/216 ,  H01J2237/221

Abstract: 一种快速改变带电粒子束焦距的设备和方法，该方法包括步骤：改变控制信号以响应控制信号电压值与带电粒子束焦距之间的关系。

公开(公告)号：CN1646894B

公开(公告)日：2012-01-18

申请号：CN03809048.1

申请日：2003-03-14

Applicant: 应用材料以色列有限公司

Inventor： R·纳夫塔利 ,  S·赖因霍恩

IPC: G01N21/00

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/8806 ,  G01N2021/8825 ,  G02B21/002 ,  G02B21/125

Abstract: 本发明提供一种用于样品如半导体晶片(108)的暗场检测的系统，该系统使用提供光束的激光光源(101)。该系统包括：提供光束的光源(101)；行移透镜声光器件(104)，它具有有源区和响应RF输入信号而在所述有源区中同时产生多个行移透镜，每个透镜具有焦点，所述行移透镜声光器件(104)可操作以接收光束和在每个所产生的行移透镜的各个焦点处产生多个斑点束，所述多个斑点束扫描所述样品的第一表面，由此产生相应的反射光束和透射光束中的至少之一的多个光束；而反射光束和透射光束的至少之一包括明场和暗场成分；和用于收集和检测暗场成分的暗场光学装置。

公开(公告)号：CN100524601C

公开(公告)日：2009-08-05

申请号：CN02822953.3

申请日：2002-10-04

Applicant: 应用材料以色列有限公司

Inventor： 德洛·希米什

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/30 ,  H01J37/304 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/1471 ,  H01J37/263 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/045 ,  H01J2237/1501 ,  H01J2237/1532 ,  H01J2237/216 ,  H01J2237/221

Abstract: 本发明提供了用于在第一方向中自动对准带电颗粒束与孔的方法。从而，束被偏转向孔的两个边缘。从获得消光所需的信号计算一校正偏转场。进而，提供了用于自动对准带电颗粒束与光轴的方法。从而引入散焦，且基于引入的图象移动计算的一信号施加到偏转单元。进而，提供了散光校正的方法。从而在改变到象散校正装置的信号时，对于测量的帧的一个顺序估计清晰度。