公开(公告)号：CN1691269A

公开(公告)日：2005-11-02

申请号：CN200510002060.8

申请日：2005-01-12

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 阿德里安·默雷尔 ,  伯纳德·F·哈里森 ,  彼得·艾弗·图德·爱德华兹 ,  彼得·金德斯利 ,  克雷格·劳里 ,  彼得·迈克尔·班克斯 ,  逆濑卓郎 ,  马文·法利 ,  佐藤修 ,  杰弗里·吕丁

IPC: H01J37/317 ,  H01L21/265

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/3023 ,  H01J49/30 ,  H01J2237/20228 ,  H01J2237/20285 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/2487 ,  H01J2237/30488 ,  H01J2237/31703 ,  H01J2237/31708 ,  H01L21/67005 ,  H01L21/68714 ,  H01L21/68764

Abstract: 本发明提供了一种衬底注入方法以及实施该方法的离子注入器。注入器相对于注入射束提供对衬底的二维扫描，使得射束在衬底上画出扫描线的栅格。在离开衬底的转折点对射束电流进行测量，并且电流值被用来控制随后的快速扫描速度，以补偿射束电流的任何变化对慢速扫描方向上的剂量均匀性的影响。该扫描可以产生不相交的、均匀间隔的平行的扫描线的栅格，并且线之间的间距被选择以确保适当的剂量均匀性。

公开(公告)号：CN100583376C

公开(公告)日：2010-01-20

申请号：CN200510002060.8

申请日：2005-01-12

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 阿德里安·默雷尔 ,  伯纳德·F·哈里森 ,  彼得·艾弗·图德·爱德华兹 ,  彼得·金德斯利 ,  克雷格·劳里 ,  彼得·迈克尔·班克斯 ,  逆濑卓郎 ,  马文·法利 ,  佐藤修 ,  杰弗里·吕丁

IPC: H01J37/317 ,  H01L21/265

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/3023 ,  H01J49/30 ,  H01J2237/20228 ,  H01J2237/20285 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/2487 ,  H01J2237/30488 ,  H01J2237/31703 ,  H01J2237/31708 ,  H01L21/67005 ,  H01L21/68714 ,  H01L21/68764

Abstract: 本发明提供了一种衬底注入方法以及实施该方法的离子注入器。注入器相对于注入射束提供对衬底的二维扫描，使得射束在衬底上画出扫描线的栅格。在离开衬底的转折点对射束电流进行测量，并且电流值被用来控制随后的快速扫描速度，以补偿射束电流的任何变化对慢速扫描方向上的剂量均匀性的影响。该扫描可以产生不相交的、均匀间隔的平行的扫描线的栅格，并且线之间的间距被选择以确保适当的剂量均匀性。