公开(公告)号：CN113196190A

公开(公告)日：2021-07-30

申请号：CN201980084157.8

申请日：2019-12-19

Applicant: 应用材料公司

Inventor： V·V·瓦茨 ,  西德哈斯·巴提亚 ,  加勒特·浩-仪·思恩 ,  普拉莫德·南比亚尔 ,  航·于 ,  桑杰·卡马斯 ,  迪内士·帕德希 ,  白恒祯

IPC: G05B19/418 ,  H01L21/67 ,  G06F16/248

Abstract: 工艺开发可视化工具生成与制造工艺相关联的参数的第一可视化内容，并且提供与制造工艺的工艺变量相关联的GUI控制元素，其中GUI控制元素具有与工艺变量第一值相关联的第一设置。工艺开发工具接收用户输入，以将GUI控制元素从第一设置调整为第二设置，基于第二设置确定工艺变量的第二值，并且确定与工艺变量的第二值相关联的参数的第二组值。然后，工艺开发工具生成参数的第二可视化内容，其中第二可视化内容表示与工艺变量的第二值相关联的参数的第二组值。

公开(公告)号：CN113196190B

公开(公告)日：2022-08-26

申请号：CN201980084157.8

申请日：2019-12-19

Applicant: 应用材料公司

Inventor： V·V·瓦茨 ,  西德哈斯·巴提亚 ,  加勒特·浩-仪·思恩 ,  普拉莫德·南比亚尔 ,  航·于 ,  桑杰·卡马斯 ,  迪内士·帕德希 ,  白恒祯

IPC: G06F16/904 ,  G06F119/18

Abstract: 工艺开发可视化工具生成与制造工艺相关联的参数的第一可视化内容，并且提供与制造工艺的工艺变量相关联的GUI控制元素，其中GUI控制元素具有与工艺变量第一值相关联的第一设置。工艺开发工具接收用户输入，以将GUI控制元素从第一设置调整为第二设置，基于第二设置确定工艺变量的第二值，并且确定与工艺变量的第二值相关联的参数的第二组值。然后，工艺开发工具生成参数的第二可视化内容，其中第二可视化内容表示与工艺变量的第二值相关联的参数的第二组值。