公开(公告)号：CN118648095A

公开(公告)日：2024-09-13

申请号：CN202380020404.4

申请日：2023-02-01

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 蔡长津 ,  北村典彦 ,  稻川真

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/687 ,  H05F3/06

Abstract: 示例性基板处理系统可包括腔室，所述腔室包括主体。主体可具有一个或多个侧壁。所述一个或多个侧壁可限定开口。主体可限定内部区域。多个基板支撑销可以设置在内部区域内。多个电离器可以耦接到主体的一个或多个侧壁。多个电离器中的每一者的光源可以朝向限定在一个或多个侧壁中的开口定向。

公开(公告)号：CN110168749A

公开(公告)日：2019-08-23

申请号：CN201780082518.6

申请日：2017-11-14

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 金庆泰 ,  周素镐 ,  北村典彦 ,  阿部忍 ,  盛殊然

IPC: H01L31/18

Abstract: 在一个实施方式中，提供了腔室，所述腔室包括：腔室主体和盖，所述腔室主体和所述盖限定内部容积；框架，所述框架在所述内部容积内，所述框架被设定尺寸以接收在第一取向上的多个衬底；以及旋转驱动组件，所述旋转驱动组件耦接到所述框架以用于旋转所述框架并将所述多个衬底中的每个衬底翻转到与所述第一取向不同的第二取向。

公开(公告)号：CN110114864A

公开(公告)日：2019-08-09

申请号：CN201780080748.9

申请日：2017-12-01

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 栗田真一 ,  北村典彦 ,  罗宾·L·蒂纳 ,  潘玉赫 ,  乌贾瓦尔·库马尔·加哈

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/683

Abstract: 在一个实施方式中，提供一种基板传送装置，所述基板传送装置包括：基板支撑件，所述基板支撑件具有周边；多个中心支撑构件，所述多个中心支撑构件定位在所述周边外；和边缘支撑构件，所述边缘支撑构件定位在所述基板支撑件的相对侧上。

公开(公告)号：CN205264677U

公开(公告)日：2016-05-25

申请号：CN201520881119.4

申请日：2015-11-06

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 栗田真一 ,  松本隆之 ,  北村典彦 ,  稻川真 ,  D·菲利普斯 ,  柳在明

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/677

Abstract: 本申请公开了机器人和基板处理系统。提供用于传送基板的机器人、处理系统以及方法。在一个实施方式中，提供机器人，所述机器人包括：可旋转主体；第一终端受动器；以及直通束检测器，所述直通束检测器安装至所述机器人。所述第一终端受动器被安装至所述主体，并且随所述主体旋转。所述第一终端受动器能沿第一方向在基本在所述主体上方的回缩位置与延伸位置之间移动。所述直通束检测器包括第一传感器和第二传感器。所述第一传感器和所述第二传感器在一位置处侧向间隔开来，在所述位置处，所述第一传感器和所述第二传感器可操作以在所述第一终端受动器在所述延伸位置与所述回缩位置之间移动时，感测设置在所述第一终端受动器上的基板的相对边缘。