公开(公告)号：CN107447203A

公开(公告)日：2017-12-08

申请号：CN201710277189.2

申请日：2017-04-25

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 大平·姚 ,  海曼·W·H·拉姆 ,  江·吕 ,  迪-业·吴 ,  参·许 ,  马伯方 ,  梅·常

IPC: C23C16/455

CPC classification number: C23C16/458 ,  C23C16/4404 ,  C23C16/455 ,  C23C16/45512 ,  C23C16/45561

Abstract: 本文公开了一种气体供应线组件和使用所述气体供应线组件的处理设备。在一些实施方式中，气体供应线组件包括：电介质主体；延伸穿过所述电介质主体的至少一个通道；和设置在所述至少一个通道中的电介质管，其中所述通道的内直径大于所述电介质管的外直径使得在所述电介质管的外壁与所述通道的内壁之间形成间隙。