公开(公告)号：CN103460344B

公开(公告)日：2018-01-26

申请号：CN201280018001.8

申请日：2012-04-10

Applicant: 应用材料公司

Inventor： S·班达 ,  J·孙 ,  R-G·段 ,  T·格雷夫斯 ,  W·G·小博伊德 ,  R·W·小达德利 ,  K·多恩 ,  W·M-Y·陆

IPC: H01L21/205 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/02

CPC classification number: B24B37/042 ,  B08B1/04 ,  B24B27/033 ,  B24B37/107 ,  B24B37/245 ,  B24B37/26 ,  C23C16/4407 ,  Y10T137/85938 ,  Y10T156/11

Abstract: 此述的实施例大体上关于用于刷新用在沉积腔室或蚀刻腔室中的气体分配板组件的方法与设备。一个实施例中，提供一种用于刷新气体分配板组件的方法。该方法包括以下步骤：推抵气体分配板组件的面板靠住研磨（polishing）装置的研磨垫，该面板具有配置在该面板中的多个气体分配孔；提供该面板与该研磨垫之间的相对运动；以及抵靠该研磨垫研磨该面板。

公开(公告)号：CN103460344A

公开(公告)日：2013-12-18

申请号：CN201280018001.8

申请日：2012-04-10

Applicant: 应用材料公司

Inventor： S·班达 ,  J·孙 ,  R-G·段 ,  T·格雷夫斯 ,  W·G·小博伊德 ,  R·W·小达德利 ,  K·多恩 ,  W·M-Y·陆

IPC: H01L21/205 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/02

CPC classification number: B24B37/042 ,  B08B1/04 ,  B24B27/033 ,  B24B37/107 ,  B24B37/245 ,  B24B37/26 ,  C23C16/4407 ,  Y10T137/85938 ,  Y10T156/11

Abstract: 此述的实施例大体上关于用于刷新用在沉积腔室或蚀刻腔室中的气体分配板组件的方法与设备。一个实施例中，提供一种用于刷新气体分配板组件的方法。该方法包括以下步骤：推抵气体分配板组件的面板靠住研磨（polishing）装置的研磨垫，该面板具有配置在该面板中的多个气体分配孔；提供该面板与该研磨垫之间的相对运动；以及抵靠该研磨垫研磨该面板。