公开(公告)号：CN107035667A

公开(公告)日：2017-08-11

申请号：CN201710064243.5

申请日：2017-02-04

Applicant: 弗劳恩霍夫应用研究促进协会

Inventor： 马丁·里希特 ,  库格尔·约瑟 ,  克劳斯·海因里希 ,  瓦尔特劳德·希尔 ,  马丁·瓦克勒

IPC: F04B43/04 ,  H02N2/00

CPC classification number: F04B43/046 ,  F04B45/047 ,  F04B53/16 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/098 ,  H01L41/311 ,  H01L41/338 ,  H02N2/005

Abstract: 本发明涉及到一种泵，其包括布置于泵的泵体(120，170)处的压电薄膜传感器；以及涉及到一种用于生产泵(100，200，400，500)的方法，其中压电薄膜传感器(101)被安装到泵体(120，170)，其中所述方法特别是包括提供压电陶瓷层(51)。根据本发明，从所述压电陶瓷层(51)划切至少一个压电元件(53，83，210)，从而使得所述至少一个压电元件(53，83，210)包括具有至少六个拐角部的正多边形形状。另外，所述方法包括通过将所述压电元件(53，83，210)安装到泵薄膜(110)来形成所述压电薄膜传感器(101)。