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公开(公告)号：CN113776579B
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202110645363.0
申请日：2021-06-09
Applicant: 弗劳恩霍夫应用研究促进协会
IPC: G01D21/02
Abstract: 传感器装置包括具有位于微型泵出口处的常闭安全阀的第一微型泵、具有位于微型泵出口处的常闭安全阀的第二微型泵、以及具有传感器腔室的传感器，传感器腔室具有位于传感器腔室中的传感器元件(例如，有源敏感区或层)，其中传感器被配置成基于传感器腔室中的流体(例如，气体或液体)的状态来提供传感器输出信号。传感器腔室被流体地耦接在第一和第二微型泵之间，并且第一和第二微型泵被配置成基于第一和第二微型泵的对应的启动或操作状态来提供传感器装置的限定的操作模式，以提供：(1)在传感器腔室中的限定的负流体压力，(2)在传感器腔室中的限定的正流体压力，或(3)通过传感器腔室的限定的流体流量，例如限定的流体通过量。
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公开(公告)号：CN109690310A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201680088926.8
申请日：2016-07-04
Applicant: 弗劳恩霍夫应用研究促进协会
Abstract: 本发明涉及一种设备(1)，包括：开口(2)，限定设备(1)中的流体通道(3)与环境空气之间的流体连接；传感器(4)，耦接到流体通道(3)，并且被设计为感测环境空气的至少一种成分；以及微型流体致动器(5)，连接在传感器(4)的下游，被设计为在吸气冲程中通过流体通道(3)吸入流体，在传感器(4)的方向输送流体，并且在加压冲程中将吸入的流体通过流体通道(3)在开口(2)的方向回送。根据本发明，传感器(4)与开口(2)间隔开布置，并且传感器(4)和开口(2)之间的流体通道(3)的体积与微型流体致动器(5)在单个吸气冲程中能够传送的冲程体积大小正好相同。
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公开(公告)号：CN109690310B
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN201680088926.8
申请日：2016-07-04
Applicant: 弗劳恩霍夫应用研究促进协会
Abstract: 本发明涉及一种设备(1)，包括：开口(2)，限定设备(1)中的流体通道(3)与环境空气之间的流体连接；传感器(4)，耦接到流体通道(3)，并且被设计为感测环境空气的至少一种成分；以及微型流体致动器(5)，连接在传感器(4)的下游，被设计为在吸气冲程中通过流体通道(3)吸入流体，在传感器(4)的方向输送流体，并且在加压冲程中将吸入的流体通过流体通道(3)在开口(2)的方向回送。根据本发明，传感器(4)与开口(2)间隔开布置，并且传感器(4)和开口(2)之间的流体通道(3)的体积与微型流体致动器(5)在单个吸气冲程中能够传送的冲程体积大小正好相同。
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公开(公告)号：CN113776579A
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN202110645363.0
申请日：2021-06-09
Applicant: 弗劳恩霍夫应用研究促进协会
IPC: G01D21/02
Abstract: 传感器装置包括具有位于微型泵出口处的常闭安全阀的第一微型泵、具有位于微型泵出口处的常闭安全阀的第二微型泵、以及具有传感器腔室的传感器，传感器腔室具有位于传感器腔室中的传感器元件(例如，有源敏感区或层)，其中传感器被配置成基于传感器腔室中的流体(例如，气体或液体)的状态来提供传感器输出信号。传感器腔室被流体地耦接在第一和第二微型泵之间，并且第一和第二微型泵被配置成基于第一和第二微型泵的对应的启动或操作状态来提供传感器装置的限定的操作模式，以提供：(1)在传感器腔室中的限定的负流体压力，(2)在传感器腔室中的限定的正流体压力，或(3)通过传感器腔室的限定的流体流量，例如限定的流体通过量。
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公开(公告)号：CN107035667B
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN201710064243.5
申请日：2017-02-04
Applicant: 弗劳恩霍夫应用研究促进协会
Abstract: 本发明涉及到一种泵，其包括布置于泵的泵体(120，170)处的压电薄膜传感器；以及涉及到一种用于生产泵(100，200，400，500)的方法，其中压电薄膜传感器(101)被安装到泵体(120，170)，其中所述方法特别是包括提供压电陶瓷层(51)。根据本发明，从所述压电陶瓷层(51)划切至少一个压电元件(53，83，210)，从而使得所述至少一个压电元件(53，83，210)包括具有至少六个拐角部的正多边形形状。另外，所述方法包括通过将所述压电元件(53，83，210)安装到泵薄膜(110)来形成所述压电薄膜传感器(101)。
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