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公开(公告)号：CN104302962B
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201380021263.4
申请日：2013-02-22
Applicant: 恩特格里斯公司
Inventor： 乔丹·霍奇斯 , 理查德·D·奇兹姆 , 米切尔·W·麦克费龙 , 唐纳德·D·韦尔 , 格伦·M·汤姆
CPC classification number: F17C9/00 , B67D7/00 , B67D7/02 , B67D7/025 , B67D7/0272 , B67D7/0283 , F17C7/00
Abstract: 本发明公开了一种流体供应系统，所述流体供应系统适于流体的真空及压力循环，所述流体供应系统包括适于在真空下向过程容器罐供应从大容量容器罐抽吸的流体，其中流体从转移容器运送到过程容器罐以正压力来实现。还公开了一种运送流体的方法，包括以下步骤：在真空下从大容量容器罐抽吸流体；和对转移容器加压以实现流体分配到过程容器罐中以用于运送到使用位置。
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公开(公告)号：CN108275348B
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201810174895.9
申请日：2014-09-17
Applicant: 恩特格里斯公司
Abstract: 本发明实施例涉及一种用于基于衬里的压力配送设备的连接器。一种基于衬里的压力配送容器，包括基于连接器安装的探针，该探针被设置为使得汲取管坐靠在衬里配件的内表面上以用于密封功能。汲取管和探针可以包括增大的和/或匹配的流动区域。逆流防止元件可以被设置为靠近液体抽取开口以防止液体从汲取管到容器中的逆流。缺少衬里的容器可以包括被设置为接收汲取管的直径减小的下部，其中至少一个相关联的传感器感测指示来自下部的液体的排空的状态。运输盖可以被包含以用于从衬里中移除顶部空间气体。在一个实施例中，运输盖适于直接连接到配送过程。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108275348A
公开(公告)日：2018-07-13
申请号：CN201810174895.9
申请日：2014-09-17
Applicant: 恩特格里斯公司
Abstract: 本发明实施例涉及一种用于基于衬里的压力配送设备的连接器。一种基于衬里的压力配送容器，包括基于连接器安装的探针，该探针被设置为使得汲取管坐靠在衬里配件的内表面上以用于密封功能。汲取管和探针可以包括增大的和/或匹配的流动区域。逆流防止元件可以被设置为靠近液体抽取开口以防止液体从汲取管到容器中的逆流。缺少衬里的容器可以包括被设置为接收汲取管的直径减小的下部，其中至少一个相关联的传感器感测指示来自下部的液体的排空的状态。运输盖可以被包含以用于从衬里中移除顶部空间气体。在一个实施例中，运输盖适于直接连接到配送过程。
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公开(公告)号：CN104989942B
公开(公告)日：2018-03-06
申请号：CN201510282437.3
申请日：2001-04-09
Applicant: 恩特格里斯公司
CPC classification number: F17C13/04 , F17C1/00 , F17C7/00 , F17C11/00 , F17C13/02 , F17C13/025 , F17C2201/0109 , F17C2201/0114 , F17C2201/032 , F17C2201/056 , F17C2201/058 , F17C2203/0617 , F17C2203/0643 , F17C2203/0648 , F17C2205/0305 , F17C2205/0326 , F17C2205/0329 , F17C2205/0335 , F17C2205/0338 , F17C2205/0341 , F17C2205/035 , F17C2205/0382 , F17C2205/0385 , F17C2205/0391 , F17C2209/221 , F17C2221/03 , F17C2223/0123 , F17C2223/035 , F17C2227/044 , F17C2270/025 , F17C2270/0518 , Y02E60/321
Abstract: 本发明涉及一种流体存储和分配系统，包括：容器，所述容器限定用于容纳压缩气体的内部空间；阀头，所述阀头与所述容器密封地啮合，所述阀头包括能够打开或关闭的阀，以从所述容器分配气体，第一压力调节器和第二压力调节器，所述第一压力调节器和所述第二压力调节器在所述容器的所述内部空间中彼此串联连接，以使气体从所述容器流动到所述阀头以进行分配。
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公开(公告)号：CN105934405B
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：CN201480059337.8
申请日：2014-09-17
Applicant: 恩特格里斯公司
CPC classification number: B67D7/0261 , B65D25/14 , B65D77/06 , B65D81/3233 , B67D7/06
Abstract: 一种基于衬里的压力配送容器，包括基于连接器安装的探针，该探针被设置为使得汲取管坐靠在衬里配件的内表面上以用于密封功能。汲取管和探针可以包括增大的和/或匹配的流动区域。逆流防止元件可以被设置为靠近液体抽取开口以防止液体从汲取管到容器中的逆流。缺少衬里的容器可以包括被设置为接收汲取管的直径减小的下部，其中至少一个相关联的传感器感测指示来自下部的液体的排空的状态。运输盖可以被包含以用于从衬里中移除顶部空间气体。在一个实施例中，运输盖适于直接连接到配送过程。
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公开(公告)号：CN102791383B
公开(公告)日：2017-11-14
申请号：CN201180012741.6
申请日：2011-01-05
Applicant: 恩特格里斯公司
CPC classification number: B67D7/0261 , C02F1/001 , C02F1/20 , C02F2209/40 , F17C1/00 , F17C2201/0104 , F17C2201/0157 , F17C2201/054 , F17C2201/056 , F17C2201/058 , F17C2203/0604 , F17C2203/0617 , F17C2203/0624 , F17C2203/0629 , F17C2203/0636 , F17C2203/066 , F17C2203/0685 , F17C2205/0142 , F17C2205/0165 , F17C2205/0169 , F17C2205/0323 , F17C2205/0326 , F17C2205/0335 , F17C2205/0338 , F17C2205/0341 , F17C2205/0373 , F17C2205/0382 , F17C2205/0385 , F17C2205/0391 , F17C2209/219 , F17C2209/221 , F17C2221/03 , F17C2223/0123 , F17C2223/0153 , F17C2223/033 , F17C2223/043 , F17C2223/047 , F17C2227/0135 , F17C2227/0157 , F17C2227/0192 , F17C2227/0304 , F17C2227/0379 , F17C2227/041 , F17C2250/032 , F17C2250/0408 , F17C2250/043 , F17C2250/0439 , F17C2250/0443 , F17C2250/0452 , F17C2250/0478 , F17C2250/0491 , F17C2250/0495 , F17C2250/072 , F17C2260/016 , F17C2260/024 , F17C2265/012 , F17C2265/017 , F17C2265/022 , F17C2270/05 , F17C2270/0518 , Y10T137/2708
Abstract: 一种用于压力分配包装的分配组件，包括：具有分开的且不同的液体和排出管道并具有压缩气体管道的连接器。衬套附件适配器可包括纵向孔，以容纳限定取液管道的连接器的探针部分，并可包括横向孔，以使得能够去除气体。将连接器插入分配组件，可在（a）取气管道和分配容积之间；（b）取液管道和分配容积之间，以及（c）压缩气体管道和在压力分配容器内待加压的空间之间，同时形成流体连接。通过将第一和第二温度传感元件的输出进行比较，可感测到流体的存在或流路内流动流体的相的变化，一个传感元件包括加热器，以使暴露于气体但不暴露于液体的传感元件的温度升高。用于流体分配的系统和方法包括第一压力分配装置和传感元件，其被布置为感测与接近所分配的流体的气体饱和相关的状态，并且，响应于这种感测到的状态，可开始由第二压力分配装置分配，以使供应至使用点的压力分配的流体流组合。
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公开(公告)号：CN103101867B
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201310032070.0
申请日：2007-06-11
Applicant: 恩特格里斯公司
CPC classification number: B67D7/763 , B65D83/62 , B67D7/0261 , Y10T137/313
Abstract: 本发明公开了一种流体分配系统及方法、连接器、微电子产品制造设备。该流体分配系统包括：至少一个压力分配封装件，该压力分配封装件包括设置在外包装容器内的可折叠内衬，外包装容器比可折叠内衬硬得多，其中，可折叠内衬适于容纳用于压力分配的流体；以及连接器，该连接器适于与至少一个压力分配封装件中的一个压力分配封装件配合，连接器包括气体移除设备，气体移除设备包括适于接收来自可折叠内衬的流体的可排放贮存器，气体移除设备适于在流体的压力分配之前移除可折叠内衬中的气体。
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