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公开(公告)号：CN106066175B
公开(公告)日：2019-09-24
申请号：CN201510860425.4
申请日：2015-11-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5684
Abstract: 一种微机电陀螺仪包括：衬底；固定到衬底的定子感测结构；第一质量块，其被弹性地耦合到衬底并可以相对于衬底在第一方向上移动；第二质量块，其被弹性地耦合到第一质量块并且可以相对于第一质量块在第二方向上移动；以及弹性约束到第二质量块和衬底并被电容耦合到定子感测结构的第三质量块，第三质量块可以相对于衬底在第二方向上以及相对于第二质量块在第一方向上移动。
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公开(公告)号：CN108663037A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201710198481.5
申请日：2017-03-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/5712 , G01C19/574 , G01C19/5776
Abstract: 本公开涉及具有频率调节和对正交误差的静电消除的MEMS陀螺仪。具体为一种MEMS陀螺仪(60，100)，其中，悬挂质量块(111-114)相对于支撑结构(125，127)可移动。该可移动质量块受正交力矩引起的正交误差的影响；驱动结构(77)耦合至该悬挂质量块以便以驱动频率控制该可移动质量块在驱动方向上的移动。耦合至该可移动质量块的运动感测电极(130)检测该可移动质量块在感测方向上的移动，并且正交补偿电极(121-124)耦合至该可移动质量块以便生成与该正交力矩相反的补偿力矩。该陀螺仪被配置成用于使用补偿电压来对这些正交补偿电极进行偏置，从而使得该可移动质量块的谐振频率与该驱动频率之差具有预设频率失配值。
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公开(公告)号：CN110514190A
公开(公告)日：2019-11-29
申请号：CN201910816648.9
申请日：2015-11-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5684
Abstract: 一种微机电陀螺仪包括：衬底；固定到衬底的定子感测结构；第一质量块，其被弹性地耦合到衬底并可以相对于衬底在第一方向上移动；第二质量块，其被弹性地耦合到第一质量块并且可以相对于第一质量块在第二方向上移动；以及弹性约束到第二质量块和衬底并被电容耦合到定子感测结构的第三质量块，第三质量块可以相对于衬底在第二方向上以及相对于第二质量块在第一方向上移动。
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公开(公告)号：CN115683077A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202210909420.6
申请日：2022-07-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5649 , G01C19/5656 , G01C19/5663
Abstract: 本公开涉及具有改进的正交误差抑制的MEMS陀螺仪。该MEMS陀螺仪由衬底、第一质量块和第二质量块形成，其中第一质量块和第二质量块悬置于衬底上方，并且在静止状态下在限定第一方向和横向于第一方向的第二方向的延伸平面中延伸。该MEMS陀螺仪还具有：驱动结构，被耦合至第一质量块，并且被配置为在使用中使第一质量块在第一方向上移动；以及弹性耦合结构，在第一质量块与第二质量块之间延伸，并且被配置为将第一质量块在第一方向上的移动与第二质量块在第二方向上的移动耦合。弹性耦合结构具有第一部分和第二部分，第一部分具有第一刚度，第二部分具有大于第一刚度的第二刚度。
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公开(公告)号：CN109425332A
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201811023497.3
申请日：2018-09-03
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Inventor： D·普拉蒂
IPC: G01C19/56
Abstract: 本公开涉及调节驱动频率和感测频率之间的失配的MEMS陀螺仪。MEMS陀螺仪可包括支撑结构以及在相互垂直的驱动方向和感测方向上从支撑结构弹性悬挂的移动质量。驱动结构耦合至移动质量，用于控制移动质量在驱动方向上以驱动频率进行的驱动移动。与驱动结构不同的驱动频率调谐电极面向移动质量。驱动频率调谐器电耦合至驱动频率调谐电极，用于向驱动频率调谐电极提供调谐电压。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109425332B
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN201811023497.3
申请日：2018-09-03
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Inventor： D·普拉蒂
IPC: G01C19/56
Abstract: 本公开涉及调节驱动频率和感测频率之间的失配的MEMS陀螺仪。MEMS陀螺仪可包括支撑结构以及在相互垂直的驱动方向和感测方向上从支撑结构弹性悬挂的移动质量。驱动结构耦合至移动质量，用于控制移动质量在驱动方向上以驱动频率进行的驱动移动。与驱动结构不同的驱动频率调谐电极面向移动质量。驱动频率调谐器电耦合至驱动频率调谐电极，用于向驱动频率调谐电极提供调谐电压。
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公开(公告)号：CN110514190B
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN201910816648.9
申请日：2015-11-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5684
Abstract: 一种微机电陀螺仪包括：衬底；固定到衬底的定子感测结构；第一质量块，其被弹性地耦合到衬底并可以相对于衬底在第一方向上移动；第二质量块，其被弹性地耦合到第一质量块并且可以相对于第一质量块在第二方向上移动；以及弹性约束到第二质量块和衬底并被电容耦合到定子感测结构的第三质量块，第三质量块可以相对于衬底在第二方向上以及相对于第二质量块在第一方向上移动。
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公开(公告)号：CN108663037B
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN201710198481.5
申请日：2017-03-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/56
Abstract: 本公开涉及具有频率调节和对正交误差的静电消除的MEMS陀螺仪。具体为一种MEMS陀螺仪(60，100)，其中，悬挂质量块(111‑114)相对于支撑结构(125，127)可移动。该可移动质量块受正交力矩引起的正交误差的影响；驱动结构(77)耦合至该悬挂质量块以便以驱动频率控制该可移动质量块在驱动方向上的移动。耦合至该可移动质量块的运动感测电极(130)检测该可移动质量块在感测方向上的移动，并且正交补偿电极(121‑124)耦合至该可移动质量块以便生成与该正交力矩相反的补偿力矩。该陀螺仪被配置成用于使用补偿电压来对这些正交补偿电极进行偏置，从而使得该可移动质量块的谐振频率与该驱动频率之差具有预设频率失配值。
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公开(公告)号：CN106066175A
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：CN201510860425.4
申请日：2015-11-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5684
Abstract: 一种微机电陀螺仪包括：衬底；固定到衬底的定子感测结构；第一质量块，其被弹性地耦合到衬底并可以相对于衬底在第一方向上移动；第二质量块，其被弹性地耦合到第一质量块并且可以相对于第一质量块在第二方向上移动；以及弹性约束到第二质量块和衬底并被电容耦合到定子感测结构的第三质量块，第三质量块可以相对于衬底在第二方向上以及相对于第二质量块在第一方向上移动。
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公开(公告)号：CN209214628U
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201821437016.9
申请日：2018-09-03
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Inventor： D·普拉蒂
IPC: G01C19/5712
Abstract: 本公开涉及MEMS陀螺仪与系统。MEMS陀螺仪可包括支撑结构以及在相互垂直的驱动方向和感测方向上从支撑结构弹性悬挂的移动质量。驱动结构耦合至移动质量，用于控制移动质量在驱动方向上以驱动频率进行的驱动移动。与驱动结构不同的驱动频率调谐电极面向移动质量。驱动频率调谐器电耦合至驱动频率调谐电极，用于向驱动频率调谐电极提供调谐电压。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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