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公开(公告)号：CN115683077A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202210909420.6
申请日：2022-07-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5649 , G01C19/5656 , G01C19/5663
Abstract: 本公开涉及具有改进的正交误差抑制的MEMS陀螺仪。该MEMS陀螺仪由衬底、第一质量块和第二质量块形成，其中第一质量块和第二质量块悬置于衬底上方，并且在静止状态下在限定第一方向和横向于第一方向的第二方向的延伸平面中延伸。该MEMS陀螺仪还具有：驱动结构，被耦合至第一质量块，并且被配置为在使用中使第一质量块在第一方向上移动；以及弹性耦合结构，在第一质量块与第二质量块之间延伸，并且被配置为将第一质量块在第一方向上的移动与第二质量块在第二方向上的移动耦合。弹性耦合结构具有第一部分和第二部分，第一部分具有第一刚度，第二部分具有大于第一刚度的第二刚度。
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公开(公告)号：CN107270883B
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN201610875869.X
申请日：2016-09-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/58
Abstract: 多轴MEMS陀螺仪(42)设置有微机械检测结构(10)，其具有：基板(12)；驱动块布置(14a‑14b)；具有中心窗口(22)的从动块布置(20)；感测块布置(20；35a‑35b、37a‑37b)，其在存在关于第一水平轴(x)和第二水平轴(x)的角速度的情况下经历感测运动；感测电极布置(29a‑29b、30a‑30b)，其相对于基板固定并且被设置在感测块布置下面；和锚定组件(24)，其被设置在中心窗口(22)内以用于在锚定元件(27)处将从动块布置约束到基板。锚定组件包括刚性结构(25a‑25b)，其悬挂在基板上方、在中心部分处通过弹性连接元件(26a‑26b)弹性地连接到从动块，并且在其端部处通过弹性解耦元件(28)弹性地连接到锚定元件。
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公开(公告)号：CN112113551A
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN202010561463.0
申请日：2020-06-18
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/56 , G01C19/5776 , G01C25/00
Abstract: 本公开涉及具有实时校准比例因子的MEMS陀螺仪及其校准方法。MEMS陀螺仪有由支撑结构承载以在彼此垂直的驱动方向和第一感测方向上移动的移动质量块。驱动结构以驱动频率管控移动质量块在驱动方向上的移动。移动感测结构耦合到移动质量块，并且检测移动质量块在感测方向上的移动。正交注入结构耦合到移动质量块，并且使移动质量块分别在第一和第二校准半周期中在感测方向上进行第一移动和第二移动。移动感测结构供应幅度在第一值和第二值之间切换的感测信号，该第一值和第二值取决于由于外部角速度以及第一和第二正交移动而导致的移动质量块的移动。感测信号的第一值和第二值彼此相减，并且与储存的差值进行比较，以供应比例因子的变化信息。
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公开(公告)号：CN116345103A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202211651592.4
申请日：2022-12-21
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的实施例涉及基于缺陷的MEMS声子晶体平板波导。一种基于MEMS的装置，包括由晶胞形成并具有延伸穿过声子晶体主体的缺陷线的声子晶体主体。缺陷线内的晶胞缺少与缺陷线外的晶胞相同的声子带隙。输入MEMS谐振器被机械耦接到缺陷线的第一端，输出MEMS谐振器机械被耦接到缺陷线的第二端。缺陷线外的每个晶胞具有相同的几何形状。输入MEMS谐振器和输出MEMS谐振器各自在缺陷线外的晶胞所拥有的相同声子带隙内具有固有频率。可以存在多于一条缺陷线，并且在这种情况下，MEMS装置可以包括多于一个输入MEMS谐振器和/或多于一个输出MEMS谐振器。
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公开(公告)号：CN107976180A
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：CN201710443570.1
申请日：2017-06-13
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5649
CPC classification number: G01C19/5747 , G01C19/574 , G01C19/5769
Abstract: 一种频率调制MEMS三轴陀螺仪(10)，具有：两个可移动质量块(11A，11B)；第一和第二驱动体(31A，31B)，该第一和第二驱动体通过弹性元件(41A，41B)联接至这些可移动质量块(11A，11B)，这些弹性元件在第一方向(X)上是刚性的并且在横向于该第一方向的第二方向(Y)上是柔顺的；以及第三和第四驱动体(32A，32B)，该第三和第四驱动体通过弹性元件(42A，42B)联接至这些可移动质量块，这些弹性元件在该第二方向上是刚性的并且在该第一方向(X)上是柔顺的。第一和第二驱动元件(59A)联接至该第一和第二驱动体(31A，31B)，用于使得这些可移动质量块在该第一方向上反相地平移。第三和第四驱动元件(63A)联接至该第三和第四驱动体(32A，32B)，用于使得这些可移动质量块在该第二方向上且反相地平移。平面外驱动元件(68A)联接至该第一和第二可移动质量块，用于使得在第三方向(Z)上反相地平移。移动感测电极(60A，64A，69A)根据外部角速度生成频率信号。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107270883A
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201610875869.X
申请日：2016-09-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/58
CPC classification number: G01C19/5747 , G01C19/5712 , G01C19/58
Abstract: 多轴MEMS陀螺仪(42)设置有微机械检测结构(10)，其具有：基板(12)；驱动块布置(14a-14b)；具有中心窗口(22)的从动块布置(20)；感测块布置(20；35a-35b、37a-37b)，其在存在关于第一水平轴(x)和第二水平轴(x)的角速度的情况下经历感测运动；感测电极布置(29a-29b、30a-30b)，其相对于基板固定并且被设置在感测块布置下面；和锚定组件(24)，其被设置在中心窗口(22)内以用于在锚定元件(27)处将从动块布置约束到基板。锚定组件包括刚性结构(25a-25b)，其悬挂在基板上方、在中心部分处通过弹性连接元件(26a-26b)弹性地连接到从动块，并且在其端部处通过弹性解耦元件(28)弹性地连接到锚定元件。
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公开(公告)号：CN105222766A
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201510372392.9
申请日：2015-06-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5776 , B81B7/02
CPC classification number: G01C19/5712 , B81B3/0018 , B81B3/0086 , B81B2201/025 , B81B2203/0163 , G01C19/5733 , G01C19/5747 , G01C19/5776 , B81B7/02
Abstract: MEMS设备具有通过第一弹性元件弹性地承载悬挂质量块的支撑区域。调谐动态吸收器弹性耦合到悬挂质量块，并且被配置为使以动态吸收器的自然振荡频率作用于悬挂质量块上的正交力减幅。调谐动态吸收器由通过第二弹性元件耦合到悬挂质量块的阻尼质量块形成。在实施例中，悬挂质量块和阻尼质量块形成在例如半导体材料的同一结构层中，并且阻尼质量块被悬挂质量块围绕。
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公开(公告)号：CN114563013A
公开(公告)日：2022-05-31
申请号：CN202111424200.6
申请日：2021-11-26
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C25/00
Abstract: 本公开的实施例涉及微机电陀螺仪和补偿微机电陀螺仪中的输出热漂移的方法。微机电陀螺仪包括：支撑结构；感测质量块，其以沿着驱动方向和感测方向的自由度被耦合至支撑结构，驱动方向和感测方向彼此垂直；以及校准结构，其面向感测质量块并且通过具有平均宽度的间隙而与感测质量块分离，校准结构相对于感测质量块可移动，使得校准结构的位移引起间隙平均宽度的变化。校准致动器控制校准结构相对于感测质量块的相对位置以及间隙的平均宽度。
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公开(公告)号：CN107179074B
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN201610877204.2
申请日：2016-09-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5663
Abstract: 一种微机械检测结构(20)，包括：半导体材料的衬底(2)；驱动质量体布置(4a‑4c)，耦合至驱动电极集合(7a‑7c)并且在驱动电极集合的电偏置之后在驱动移动中被驱动；第一锚固单元(5a‑5c,6a‑6c)，耦合至驱动质量体布置以用于在第一锚固部(5a‑5c)处将驱动质量体布置弹性地耦合至衬底(2)；被驱动质量体布置(10,30)，通过耦合单元(22a‑22b)弹性地耦合至驱动质量体布置并且被设计为由驱动移动所驱动；以及第二锚固单元(14,34)，耦合至被驱动质量体布置以用于在第二锚固部(17,37)处将被驱动质量体布置弹性地耦合至衬底(2)。在驱动移动之后，在第一和第二锚固部处施加于衬底(2)上的力和扭矩的合量基本上为零。
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公开(公告)号：CN110514190A
公开(公告)日：2019-11-29
申请号：CN201910816648.9
申请日：2015-11-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5684
Abstract: 一种微机电陀螺仪包括：衬底；固定到衬底的定子感测结构；第一质量块，其被弹性地耦合到衬底并可以相对于衬底在第一方向上移动；第二质量块，其被弹性地耦合到第一质量块并且可以相对于第一质量块在第二方向上移动；以及弹性约束到第二质量块和衬底并被电容耦合到定子感测结构的第三质量块，第三质量块可以相对于衬底在第二方向上以及相对于第二质量块在第一方向上移动。
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