公开(公告)号：CN117542919A

公开(公告)日：2024-02-09

申请号：CN202311493740.9

申请日：2023-11-09

Applicant: 扬州大学

Inventor： 李绿洲 ,  丁建宁 ,  王芹芹 ,  温相丽 ,  董旭 ,  江瑶瑶

IPC: H01L31/18 ,  H01L21/228

Abstract: 本发明属于晶硅光伏电池新能源领域，尤其涉及一种全背电极接触晶硅光伏电池的图案化方法及制备方法，包括如下操作步骤：在抛光样品背面完成非晶硅层或多晶硅层的沉积；在非晶硅层或多晶硅层上沉积一层液态硼源，并使用激光加热烘干局部区域的硼源；对样品进行清洗以去除未固化区域的硼源，剩下的区域作为背接触的P+区；通过印刷的方式对P+区及其外周印扩散隔离材料覆盖；采用高温磷扩实现N+区的掺杂和P+区的硼元素激活，完成全背电极接触晶硅光伏电池的图案化制备。本发明采用硼源+印扩散隔离材料+磷扩的方式将P+区、N+区和Gap区制备在一个平面上，降低了电池金属化时印刷浆料的难度，降低了硅片的碎片率。

公开(公告)号：CN117542919B

公开(公告)日：2024-07-12

申请号：CN202311493740.9

申请日：2023-11-09

Applicant: 扬州大学

Inventor： 李绿洲 ,  丁建宁 ,  王芹芹 ,  温相丽 ,  董旭 ,  江瑶瑶

IPC: H01L31/18 ,  H01L21/228

Abstract: 本发明属于晶硅光伏电池新能源领域，尤其涉及一种全背电极接触晶硅光伏电池的图案化方法及制备方法，包括如下操作步骤：在抛光样品背面完成非晶硅层或多晶硅层的沉积；在非晶硅层或多晶硅层上沉积一层液态硼源，并使用激光加热烘干局部区域的硼源；对样品进行清洗以去除未固化区域的硼源，剩下的区域作为背接触的P+区；通过印刷的方式对P+区及其外周印扩散隔离材料覆盖；采用高温磷扩实现N+区的掺杂和P+区的硼元素激活，完成全背电极接触晶硅光伏电池的图案化制备。本发明采用硼源+印扩散隔离材料+磷扩的方式将P+区、N+区和Gap区制备在一个平面上，降低了电池金属化时印刷浆料的难度，降低了硅片的碎片率。